Hydrogen-radical-assisted radio-frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition system for diamond formation

Review of Scientific Instruments

Volumn 67, Issue 6, 1996, Pages 2360-2365

  Hiramatsu, Mineo ^a   Inayoshi, Muneto ^a   Yamada, Koji ^a   Mizuno, Etsuko ^a   Nawata, Masahito ^a   Ikeda, Masanobu ^b   Hori, Masaru ^b   Goto, Toshio ^b  

^a MEIJO UNIVERSITY   (Japan)

^b NAGOYA UNIVERSITY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0346303459     PISSN: 00346748     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1146946     Document Type: Article

References (20)

1. M. Kadono, T. Inoue, A. Miyanaga, and S. Yamazaki, Jpn. J. Appl. Phys. 32, 3231 (1993).
2. T. Yara, M. Yuasa, M. Shimizu, H. Makita, A. Hatta, J. Suzuku, T. Ito, and A. Hiraki, Jpn. J. Appl. Phys. 33, 4404 (1994).
3. S. J. Harris, Appl. Phys. Lett. 56, 2298 (1990).
4. B. V. Spityn, L. L. Bouilov, and B. V. Derjaguin, J. Cryst. Growth 52, 219 (1981).
5. J. A. Mucha, D. L. Flamm, and D. E. Ibbotson, J. Appl. Phys. 65, 3448 (1989).
6. D. G. Goodwin, J. Appl. Phys. 74, 6888 (1993).
7. D. G. Goodwin, J. Appl. Phys. 74, 6895 (1993).
8. S. Naito, N. Ito, T. Hattori, and T. Goto, Jpn. J. Appl. Phys. 33, 5046 (1994).
9. S. Naito, M. Ikeda, N. Ito, T. Hattori, and T. Goto, Jpn. J. Appl. Phys. 32, 5721 (1993).
10. K. Tachibana, Jpn. J. Appl. Phys. 33, 4323 (1994).
11. T. Kajiwara, K. Takeda, H. J. Kim, W. Z. Park, T. Okada, M. Maeda, K. Muraoka, and M. Akazaki, Jpn. J. Appl. Phys. 29, L154 (1990).
12. W. E. Jones, S. D. Macknight, and L. Teng, Chem. Rev. 73, 407 (1973).
13. Y. Yamamoto, H. Nomura, T. Tanaka, M. Hiramatsu, M. Hori, and T. Goto, Jpn. J. Appl. Phys. 33, 4320 (1994).
14. M. Ikeda, K. Aiso, M. Hori, T. Goto, Jpn. J. Appl. Phys. 34, 3273 (1995).
15. M. Ikeda, M. Hori, T. Goto, M. Inayoshi, K. Yamada, M. Hiramatsu, and M. Nawata, Jpn. J. Appl. Phys. 34, 2484 (1995).
16. R. P. Chin, J. Y. Huang, Y. R. Shen, T. J. Chuang, H. Seki, and M. Buck, Phys. Rev. B 45, 1522 (1992).
17. T. Tsuno, T. Imai, Y. Nishibayashi, H. Hamada, and N. Fujimori, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 1063 (1991).
18. J. Kikuchi, S. Fujimura, M. Suzuki, and H. Yano, Jpn. J. Appl. Phys. 32, 3120 (1993).
19. J. Kikuchi, M. Iga, H. Ogawa, S. Fujimura, and H. Yano, Jpn. J. Appl. Phys. 33, 2207 (1994).
20. S. J. Harris and A. M. Weiner, Appl. Phys. Lett. 55, 2179 (1989).