Superhard Coatings - Production and Analysis

Mikrochimica Acta

Volumn 125, Issue 1, 1997, Pages 197-209

  Lux, Benno ^b   Haubner, Roland ^a   Griesser, Martina ^a   Grasserbauer, Manfred ^a  

^a VIENNA UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Austria)

^b NONE

Author keywords

BN; Coatings; Diamond; Hardness

Indexed keywords

EID: 0345682354     PISSN: 00263672     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1007/bf01246184     Document Type: Article

References (107)

1. G. Davies (ed.), Properties and Growth of Diamond (Emis Datareviews, Series) Short Run Press, Exeter, 1994, pp. 349-367.
2. F. P. Bundy, H. T. Hall, H. M. Srtong, R. H. Wentorf, Nature 1955 176, 51.
3. S. Matsumoto, Y. Sato, M. Kamo, N. Setaka, Jpn. J. Appl. Phys. 1982, 21(4), L183.
4. R. H. Wentorf, Jr., J. Chem. Phys. 1957, 26, 956.
5. S. Bohr, R. Haubner, B. Lux, Diamond Relat. Mat. 1955, 4, 714.
6. F. P. Bundy, R. H. Wentorf, J. Chem. Phys. 1963, 38 (5), 1144.
7. V. L. Solozhenko, V. Ya. Leonidov, Russ. J. Phy. Chem. 1988, 62, 1646.
8. A. F. Hollemann, E. Wiberg, Lehrbuch der Anorganischen Chemie. , 71-80. Auflage, de Gruyter Berlin, 1971.
9. K. Kondo, H. Hirai, S. Kukino Fourth Int. Conf. on the New Diamond Science and Technology (ICNDST-4), July 18-24, 1994, Kobe (S. Saito, N. Fujimori et al., eds.), MYU, Tokyo, 1994, p.585.
10. L. Vel, G. Demazeau, J. Etourneau, Mat. Sci. Eng. 1991, B10, 149.
11. A. Onodera, K. Higashi, Y. Irie, J. Mat. Sci. 1988, 23, 422.
12. H. Sumiya, T. Iseki, A. Onodera, Mater. Res. Bull. 1983, 18, 1203.
13. H. Kanda, T. Ohsawa, S. Yamaoka, J. Crystal Growth 1990, 99, 1183.
14. M. Akaishi, H. Kaqnda, S. Yamaoka, Science 1993, 259, 1592.
15. H. Kanda, M. Akaishi, S. Yamaoka, J. Crystal Growth 1990, 106, 471.
16. S. Nakano, S. Yamaoka, O. Fukunaga, J. Am. Ceram. Soc. 1992, 75, 740.
17. S. Nakano, O. Fukunaga, Diamond Relat. Mat. 1993, 2, 1409.
18. G. Biardeau, G. Demazeau, M. Pouchard, Fr. Patent 2.597.087, 16. October 1987.
19. G. Demazeau, Diamond Relat. Mat. 1993, 2, 197.
20. R. Haubner, B.Lux, Diamond Relat. Mat. 1993, 2, 1277.
21. P. K. Bachmann, in: Properties and Growth of Diamond Emis Datareviews Series, G. Davie Short Run Press, Exeter, 1994.
22. E. Bergmann, C. Hollenstein, J. Karner, M. Pedrazzini, 1st Swiss Conf. on Materials Research for Engineering Systems Sion September 8-9, 1994, (B. Ilschner et al., eds.), pp. 275-279.
23. A. Lindlbauer, R. Haubenr, B. Lux, Refract. Met. Hard Mat. 1992, 11, 247.
24. N. Ohtake, M. Yoshikawa, J. Electrochem. Soc. 1990 , 137, 717.
25. N. Setaka, J. Mat. Res. 1989, 4(3), 664.
26. X. X. Bi, P. C. Eklund, J. G. Zhang, A. M. Rao, T. A. Perry, C. P. Beetz, Jr., J. Mat. Res. 1990, 5(4), 811.
27. H.-J. Hinneberg, M. Eck, K. Schmidt, Diamond Relat. Mat. 1992, 1, 810.
28. S. C. Sharma, M. Green, R. C. Hyer, C. A. Dark, T. D. Black, A. R. Chourasia, D. R. Chopra, K. K. Mishra, J. Mat. Res. 1990, 5(11), 2424.
29. B. E. Williams, J. T. Glass, J. Mat. Res. 1989, 4(2), 373.
30. B. E. Williams, J. T. Glass, R. F. Davis, K. Kobashi, T. Horiuchi, J. Vac. Sci. Technol. 1988, A6(3), 1819.
31. A. Cook, A. G. Fitzgerald, B. E. Storey, J.I.B. Wilson, P. John, M. G. Jubber, D. Milne, I. Drummond, J. A. Savage, S. Haq, Diamond Relat. Mat. , 1992, 1, 478.
32. D. J. Kester, K. S. Ailey, R. F. Davis, Diamond Relat. Mat. 1994, 3, 332.
33. J. L. Andujar, E. Pascual, R. Aguiar, E. Bertran, A. Bosch, J. L. Fernandez, S. Gimeno, A. Lousa, M. Varela, Diamond Relat. Mat. 1995, 4, 657.
34. W. Dworschak, K. Jung, H. Ehrhardt, Diamond Relat. Mat. 1994, 3, 337.
35. J. M. Mendez, S. Muhl, E. Andrade, L. Cota-Araiza, M. Farias, G. Soto, Diamond Relat. Mat. 1994, 3, 831.
36. A. Weber, U. Bringmann, R. Nikulski, C.-P. Klages, Diamond Relat. Mat. 1993, 2, 201.
37. V. Ya. Leonidov, I. V. Timofeev, V. L. Solozhenko, I. V. rodionov, Russ. J. Phys Chemi. 1987, 61, 1503.
38. R. Bichler, R. Haubner, B. Lux, High Temp. High Pressure 1989, 21, 576.
39. J. Ponahlo, R. Haubner, B. Lux, Microchim. Acta 1994, 116, 143.
40. R. Haubner, A. Lindlbauer, B. Lux, Diamond Relat. Mat. 1993, 2, 1505.
41. C. Wild, R. Kohl, N. Herres, W. Müller-Sebert, P. Koidl, Diamond Relat. Mat. 1994, 3, 373.
42. M. Schreck, R. Hessmer, S. Geier, B. Rauschenbach, B. Stritzker, Diamond Relat. Mat. 1994, 3, 510.
43. A. Badzian, T. Badzian, Diamond Relat. Mat. 1993, 2, 147.
44. S. Bohr, Ph. D. Thesis, Vienna University of Technology, 1995.
45. Th. Frauenheim, U. Stephan, P. Blaudeck, D. Porezag, H.-G. Busmann, W. Zimmermann-Edling, Diamond Relat. Mat. 1994, 3, 966.
46. W. Zhu, H-S. Kong, J. T. Glass, in: (R.F. Davis (ed.), Diamond Films and Coatings Noyes Publications, 1993.
47. J. Wagner, C. Wild, W. Müller-Sebert, P. Koidl, Appl. Phys. Lett 1992, 61(11), 1284.
48. M. Griesser, M. Grasserbauer, R. Kellner, S. Bohr, R. Haubner, B. Lux, Fresenius J. Anal. Chem. 1995 in press.
49. Y. Wang, D. C. Alsmeyer, R. L. McCreery, Chem. Mater 1990, 2, 557.
50. J. Kastner, T. Pichler, H. Kuzmany, S.Curran, W. Blau, D. N. Weldon, M. Delamesiere, S. Draper, H.Zandbergen, Chem. Phys. Lett. 1995 in press.
51. E. Specht; R. Clausing, L. Heatherly, J. Crystal Growth 1991, 114, 38.
52. M. Joksch, P. Wurzinger, P.Pongratz, R. Haubner, B. Lux, Diamond Relat. Mat. 1994, 3, 681.
53. R. Erz, Ph. D. Thesis., Universität Kaiserslautern, 1994.
54. W. A. Yarbrough, N. D. Rosen, L. J. Pilione, W. R. Drawl, Proc. of SPIE on Diamond Optics II, 1989, 1164, 2.
55. C. Wild, N. Herres, J. Wagner, P. Koidl, T. R. Anthony, in: Proc. of the First International Symposium on diamond and Diamond-Like Films, 89(12) (J.P. Dismukes, et al., eds.), The Electrochemical Society, Pennington, NJ, 1989, pp. 283-295.
56. X. X. Bi, P. C. Eklund, J. G. Zhang, A. M. Rao, T. A. Perry C. P. Beetz Jr., J. Mat. Res. 1990, 5(4), 811.
57. T. M. Hartnett, R. P. Miller, Proc. of SPIE on Electroptical Materials for Switches, Coatings, Sensor Optics and Detectors, 1990, 1307, 474.
58. P. K. Bachmann, D. U. Wiechert, in: Diamond and Diamond-like Films and Coatings, NATO-ASI Series B, Physics 266(3) (R. E. Clausing et al., eds.), Plenum, New York, 1991, pp. 677-713.
59. J. A. Freitas Jr., K. Doverspike, P. B. Klein, Y. L. Khong, A. T. Collins, Diamond Relat. Mat. 1994, 3, 821.
60. P. Kania, P. Oelhafen, Diamond Relat. Mat. 1995, 4, 425.
61. A. T. Collins, Diamond Relat. Mat. , 1992 1, 457.
62. N. Fujimori, Y. Nishibayashi, Diamond Relat. Mat. 1993, 2, 762.
63. W. Wagner, F. Rauch, R. Haubner, B. Lux, Thin Solid Films 1992, 207, 24.
64. M. Griesser, Ph. D. Thesis, Vienna University of Technology, Vienna, Austria, 1995.
65. th 1994, Florence, Italy, in press.
66. W. Dötter, Ph. D. Thesis, Universität Kaiserslautern, Fachbereich Physik, 1994.
67. B. V. Spitsyn, G. Popovici, M. A. Preals, 2nd International Conference on the Applications of Diamond Films and Related Materials (M. Yoshikawa, M. Murakawa, Y. Tzeng, W. Yarbrough, eds.), MYU, Tokyo, Japan, 1993, pp. 57-65.
68. R. J. Graham, F. Shaapur, Y. Kato, B. R. Stoner, Appl. Phys. Lett 1994, 65(3), 292.
69. R. Samlenski, J. Schmälzlin, R. Brenn, C. Wild, W. Müller-Sebert, P. Koidl, Diamond Relat. Mat. 1995 4, 503.
70. B. E. Williams, B. R. Stoner, D. A. Asbury, J. T. Glass, Proc. NATO Advanced Study Institute on Diamond and Diamond-Like Films and Coatings, Castelvecchio Pascoli, Italy, 1990, 737.
71. M. Griesser, G. Stingeder, M. Grasserbuer, H. Baumann, F. Link, P. Wurzinger, H. Lux, R. Haubner, B. Lux, Diamond Relat. Mat. 1994 3, 638.
72. S. Jin, J. E. Graebner, G. W. Kammlott, T. H. Tiefel, S. G. Kosinski, L. H. Chen, R. A. Fastnacht, Appl Phys. Lett. 1992, 60(16), 1948.
73. th Int. Plansee Seminar '93, Mai 1993. Reutte. Austria, vol. 3, c7 (H. Bildstein, R. Eck, eds.), pp. 89-100.
74. R. Spitzl, V. Raiko, R. Heiderhoff, H. Gnaser, J. Engemann, Diamond Relat. Mat. 1995, 4, 563.
75. S. Yugo, T Kanai, T. Kimura, Diamond Relat. Mat. 1992, 1, 388.
76. G. Friedbacher, E. Bouveresse, G. Fuchs, M. Grasserbauer, D. Schwarzbach, R. Haubner, B. Lux, Appl. Surf. Sc. 1995, 84, 133.
77. B. Lux, R. Haubner, in: Diamond Films and Coatings (R.F. Davis, ed.) Noyes, a Park Ridge, NJ, 1993.
78. S. Kubelka, R. Haubner, B. Lux, R. Steiner, G. Stingeder, M. Grasserbauer, Diamond Relat. Mat. 1994, 3, 1360.
79. S. Kubelka, R. Haubner, B. Lux, R. Steiner, G. Stingeder, M. Grasserbauer, Diamond. Films Technol. 1995, 5(2), 105.
80. J. L. Chen, T. H. Hunang, F. M. Pan, C. T. Kuo, C. S. Chang, T. S. Lin, Surf. Coat. Technol. 1992, 54/55, 392.
81. K. Saijo, M. Yagi, K. Shibuki, S. Takatsu, Surf. coat. Technol 1990, 43-44, 30.
82. S. Kubelka, R. Haubner, B. Lux, R. Steiner, M. Grasserbauer, Diamond Relat. Mat. Submitted.
83. X. X. Pan, Ph.D. Thesis, Vienna University of Technology, Vienna Austria 1989.
84. A. K. Mehlmann, S. F. Dirnfeld, Y. Avigal, Diamond Relat. Mat. 1992, 1, 600.
85. S. Kubelka, Ph.D. Thesis, Vienna University of Technology, 1994.
86. R. Haubner, S. Kubelka, B. Lux, M. Griesser, M. Grasserbauer, J. Phys. IV 1995, 5, 753.
87. J. E. Field, The Properties of Diamond, Academic Press, London, 1979.
88. M. N. Yoder, Diamond Films and Coatings (R. F. Davis, ed.), Noyes Park Ridge, 1993.
89. B. Löchel, H.-J. Schliwinski, H.-L. Huber, J. Trube, L. Schäfer, C.-P. Klages, H. Lüthje, Microelectron. Eng. 1992, 17, 175.
90. P. K. Bachmann, H. J. Hagemann, H. Lade, D. Leers, D. U. Wiechert, H. Wilson, D. Fournier, K. Plamann, Diamond Relat. Mat. 1995 4, 820.
91. C. J. H. Wort, C. G. Sweeney, M. A. Cooper, G. A. Scarsbrook, R. S. Sussman, Diamond Relat. Mat. 1994, 3, 1158.
92. D. T. Morelli, C. Uher, Appl. Phys. Lett. 1993, 63(2), 165.
93. T. R. Anthony, J. F. Fleischer, US Patent Nr.: 5, 110, 579, 1992.
94. T. R. Anthony, J. F. Fleischer, US Patent Nr.: 5, 273, 731, 1993.
95. J. A. Herb, J. M. Pinneo, C. F. Gardinier, US Patent Nr.: 5, 284, 709, 1994.
96. L. K. Bigelow, K. J. Gray, G. Lu, M. A. Simpson, G. L. Cann, Europäisches Patent Nr.: 0 607 987 A2, 1994.
97. J. E. Graebner, Diamond Films Technol. 1993, 2, 77.
98. K. Plamann, D. Fournier, Diamond Relat. Mat. 1995, 4, 809.
99. E. A. Burgemeister, Physica 1978, 93B, 165.
100. J. E. Graebner, J. A. Mucha, L. Seibles, G.W. Kammlott, J. Appl. Phys. 1992, 71(7), 3143.
101. G. Lu, W. T. Swann, Appl. Phys. Lett. 1991, 59(13), 1556.
102. P. G. Kosky, Rev. Sci. Instr. 1993, 64(4), 1071.
103. E. P. Visser, E. H. Versteegen, W. J. P. van Enckevort, J. Appl. Phys. 1992, 71(7), 3238.
104. S. Albin, W. P. Winfree, B. S. Crews, J. Electrochem. Soc. 1990, 137, 1973.
105. T. Sugino, K. Karasutani, F. Mano, H. Kataoka, J. Shirafuji, K. Kobashi, Diamond Relat. Mat. 1994, 3, 618.
106. T. H. Borst, P. C. Münzinger, O. Weis, Diamond Relat. Mat. 1994, 3, 515.
107. P. Ramesham, M. F. Rose, R. F. Asken, T. L. Bekker, J. A. Dayton Jr., I. L. Krainsky, G. Mearini, d. File, A. S. Gilmore Jr., V. Ayres, Surface Coat. Technol. 1994, 64, 81.86.