Nanolithography Based on Real-Time Electrically Controlled Indentation with an Atomic Force Microscope for Nanocontact Elaboration

Nano Letters

Volumn 3, Issue 11, 2003, Pages 1599-1602

  Bouzehouane, K ^a   Fusil, S ^b   Bibes, M ^a   Carrey, J ^a,d   Blon, T ^a,e   Le Du M ^a   Seneor, P ^a   Cros, V ^a   Vila, L ^c  

^a Lab Collisions Atomiques M   (France)

^b UNIVERSITÉ D EVRY VAL D ESSONNE   (France)

^c UNIVERSITÉ CATHOLIQUE DE LOUVAIN   (Belgium)

^d UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

^e CEMES CNRS   (France)

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ARTICLE; ATOMIC FORCE MICROSCOPY; CONDUCTANCE; MOLECULAR DYNAMICS; MOLECULAR PHYSICS; NANOPARTICLE; NANOTECHNOLOGY;

EID: 0344256585     PISSN: 15306984     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl034610j     Document Type: Article

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