X-ray diffraction analysis of SiGe/Si heterostructures on sapphire substrates

Applied Physics Letters

Volumn 73, Issue 7, 1998, Pages 924-926

  Mooney, P M ^a   Ott, J A ^a   Chu, J O ^a   Jordan Sweet, J L ^a  

^a IBM T J WATSON RESEARCH CENTER   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0344002938     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.122039     Document Type: Article

References (13)

1. P. R. de la Houssaye, C. E. Chang, B. Offord, R. Johnson, P. M. Asbeck, G. A. Garcia, and I. Lagnado, Tech. Dig. 1995 Device Research Conference, 18 (1995).
2. S. Verdonct-Vandebroek, E. F. Crabbe, B. S. Meyerson, D. L. Harame, P. J. Restle, J. M. C. Stork, and J. B. Johnson, IEEE Trans. Electron Devices 41, 90 (1994).
3. S. J. Matthew, W. E. Ansley, W. B. Dubbelday, J. D. Cressler, J. A. Ott, J. O. Chu, K. L. Kavanagh, P. M. Mooney, B. S. Meyerson and I. Lagnado, Tech. Dig. 1997 Device Research Conference, 130 (1997).
4. S. J. Mathew, G. Niu, W. D. Dubbelday, J. D. Cressler, J. A. Ott, J. O. Chu, P. M. Mooney, K. L. Kavanagh, B. S. Meyerson, and I. Lagnado (unpublished).
5. P. F. Fewster, Semicond. Sci. Technol. 8, 1915 (1993).
6. P. M. Mooney, J. L. Jordan-Sweet, J. O. Chu, and F. K. LeGoues, Appl. Phys. Lett. 66, 3642 (1995);
7. P. M. Mooney, J. L. Jordan-Sweet, K. Ismail, J. O. Chu, R. M. Feenstra, and F. K. Legoues, Appl. Phys. Lett. 67, 2373 (1995).
8. B. S. Meyerson, Appl. Phys. Lett. 48, 797 (1986).
9. S. S. Lau, S. Matteson, J. W. Mayer, P. Revesz, J. Gyulai, J. Roth, T. W. Sigmon, and T. Cass, Appl. Phys. Lett. 34, 76 (1979).
10. P. M. Mooney, J. L. Jordan-Sweet, G. B. Stephenson, F. K. LeGoues, and J. O. Chu, Adv. X-Ray Anal. 38, 181 (1995).
11. Rocking Curve Analysis by Dynamical Simulation, Bede Scientific, Inc.
12. J. W. Matthews, in Epitaxial Growth (Academic, New York, 1975), p. 559.
13. P. Boucaud, L. Wu, C. Guedj, F. H. Julien, I. Sajnes, Y. Campidelli, and L. Garchery, J. Appl. Phys. 80, 1414 (1996).