Kinetics of low pressure rf discharges with dust particles

Journal of Applied Physics

Volumn 81, Issue 1, 1997, Pages 38-42

  Wang, De Zhen ^a,b   Dong, J Q ^b,c  

^a DALIAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (China)

^b ABDUS SALAM INTERNATIONAL CENTRE FOR THEORETICAL PHYSICS   (Italy)

^c SOUTHWESTERN INSTITUTE OF PHYSICS   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0342841955     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.364124     Document Type: Article

References (26)

1. K. G. Spears, T. J. Robinson, and R. M. Roth, IEEE Trans. Plasma Sci. 14, 179 (1986).
2. G. S. Selwyn, J. Singh, and R. S. Bennett, J. Vac. Sci. Technol. A 7, 2758 (1989)
3. G. S. Selwyn, J. S. McKillop, K. L. Haller, and J. J. Wu, J. Vac. Sci. Technol. A 8, 1726 (1990).
4. G. S. Selwyn, J. E. Heidenreich, and K. L. Haller, J. Vac. Sci. Technol. A 9, 2817 (1991).
5. S. E. Beck, S. M. Collins, and J. F. O'Hanlon, IEEE Trans. Plasma Sci. 22, 128 (1994).
6. T. J. Sommerer, M. S. Barnes, J. H. Keller, M. J. McCaughey, and M. J. Kushner, Appl. Phys. Lett. 59, 638 (1991).
7. M. S. Barnes, J. H. Keller, J. C. Forster, J. A. O'Neill, and D. K. Coultas, Phys. Rev. Lett. 68, 313 (1992).
8. P. Haaland, S. Ibrani, and H. Jiang, Appl. Phys. Lett. 64, 1629 (1994).
9. D. Winske and M. E. Jones, IEEE Trans. Plasma Sci. 22, 454 (1994).
10. E. C. Whipple, T. G. Nortnron, and D. A. Mendis, J. Geophys. Res. 90, 7405 (1985).
11. J. S. Chang and K. Spariosu, J. Phys. Soc. Jpn. 62, 97 (1993).
12. D. Winske and M. E. Jones, IEEE Trans. Plasma Sci. 23, 188 (1995).
13. J. P. Boeuf, Phys. Rev. A 46, 7910 (1992).
14. S. J. Choi and M. J. Kushner, IEEE Trans. Plasma Sci. 22, 138 (1994).
15. S. J. Choi and M. J. Kushner, J. Appl. Phys. 75, 3351 (1994).
16. M. J. McCaughey and M. J. Kushner, Appl. Phys. Lett. 55, 951 (1989).
17. M. J. McCaughey and M. J. Kushner, J. Appl. Phys. 69, 6952 (1991).
18. G. M. Jellum and D. B. Graves, Appl. Phys. Lett. 57, 2077 (1990).
19. G. M. Jellum, J. E. Daugherty, and D. B. Graves, J. Appl. Phys. 69, 6923 (1991).
20. J. E. Daugherty, R. K. Porteous, M. D. Kilgore, and D. B. Graves, J. Appl. Phys. 72, 3934 (1992).
21. W. Lochte-Holtgreven, Plasma Diagnostics (North-Holland, Amsterdam, 1968), p. 675.
22. H. M. Mott-Smith and I. Langmuir, Phys. Rev. 28, 727 (1926).
23. I. P. Shkarofsky, T. W. Johnston, and M. P. Bachynski, The Particle Kinetics of Plasma (Addison-Wesley, Reading, MA 1966), p. 77.
24. C. M. Ferreira and J. Loureiro, J. Phys. D 16, 2471 (1983).
25. D. Rapp and P. Englander-Golden, J. Chem. Phys. 43, 1464 (1965).
26. L. R. Peterson and J. E. Allen, Jr., J. Chem. Phys. 56, 6068 (1972).