Gold-Nickel contacts for silicon-microrelays;Gold-nickel als kontaktwerkstoff für ein silizium-mikrorelais

F and M; Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Messtechnik

Volumn 104, Issue 7-8, 1996, Pages 515-518

  Schimkat, Joachim ^a,b,c   Gevatter, Hans Jürgen ^a,c,d   Kiesewetter, Lothar ^a,c  

^a Univ Karlsruhe Hat Anschliessend ^*

^b UNIVERSITY OF KARLSRUHE   (Germany)

^c TECHNISCHE UNIVERSITÄT BERLIN   (Germany)

^d TECHNICAL UNIVERSITY OF BRAUNSCHWEIG   (Germany)

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EID: 0342776006     PISSN: 09441018     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (8)

1. Petersen, K. E.: 〉Micromechanical Membrane Switches on Silicon〈; IBM J. Res. Develop. Vol. 23, No. 4 (1979) S. 376-385
2. Schimkat, J.; Kiesewetter, L.; Gevatter, H.-J.; Arndt, F.; Steckenborn, A.; Schlaak, H. F.: 〉Moving Wedge Actuator: An Electrostatic Actuator for Use in a Microrelay〈; Micro System Technologies 94 Conference, Berlin 1994, S. 989-996
3. Schimkat, J.: 〉Grundlagen und Modelle zur Entwicklung und Optimierung von Silizium-Mikrorelais〈; Dissertation, Fachbereich Maschinenbau und Produktionstechnik, TU Berlin, 1996
4. Peek, R. L.; Wagar, H. N.: 〉Switching Relay Design〈; Princeton, Toronto, London, New York: D. van Nostrand 1955
5. Hosaka, H.; Kuwano, H.; Yanagisawa, K.: 〉Electromagnetic Microrelays: Concepts and Fundamental Characteristics〈; Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 1993, S. 12-17
6. Hannoe, S.; Hosaka, H.; Kuwano, H.; Yanagisawa, K.: 〉Mechanical and electrical characteristics of ultra-low-force contacts used in micromechanical relays〈; Proc. 17th Int. Conference on Electrical Contacts, Nagoya 1994, S. 185-190
7. Keil, A.; Merl, W. A.; Vinaricky, E.: 〉Elektrische Kontakte und ihre Werkstoffe〈; Berlin, Heidelberg, New York, Tokyo: Springer 1984
8. Holm, R.: 〉Electrical Contacts〈; Berlin, Heidelberg, New York: Springer 1967