A critical comparison of on-line coupling IC-ICP-(AES, MS) with competing analytical methods for ultra trace analysis of microelectronic materials

Fresenius' Journal of Analytical Chemistry

Volumn 364, Issue 5, 1999, Pages 404-409

  Seubert, Andreas ^a,b  

^a LEIBNIZ UNIVERSITY HANNOVER   (Germany)

^b UNIVERSITY OF KASSEL   (Germany)

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EID: 0342728238     PISSN: 09370633     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1007/s002160051357     Document Type: Conference Paper

References (24)

1. Ortner HM, Blödorn W, Friedbacher G, Grasserbauer M, Krivan V, Virag A, Wilhartitz P, Wünsch G (1987) Mikrochim Acta [Wien] I : 233-260
2. Ortner HM, Wilhartitz P, Grasserbauer M, Virag A, Friedbacher G (1987) Kontakte (Darmstadt) 3 : 3-7
3. Ortner HM, Blödorn W, Friedbacher G, Grasserbauer M, Krivan V, Virag A, Wilhartitz P, Wünsch G (1988) Kontakte (Darmstadt) 3 : 38-52
4. Tölg G (1987) Analyst 112 : 365-376
5. Tölg G (1993) Anal Chim Acta 283 : 3-18
6. Ortner HM, Wilhartitz P (1991) Final Report COST 503/II, Group 3, Project A-4
7. Schlott M, Schulten R, Jönsson S, Truckenbrodt T, Leipold H, Beuers J, Haußelt J (1991) Final Report COST 503/II, Group 3, Project D-17
8. Winter G, Hünert R, Kiliani W (1991) Final Report COST 503/11, Group 3, Project D-2
9. Grasserbauer M, Charalambous PM, Jakubowski N, Stuewer D, Wojciech V, Beske HE, Virag A, Friedbacher G (1987) Mikrochim Acta [Wien] I : 291-319
10. Gijbels R (1990) Talanta 37 : 363-376
11. Gijbels R, Bogaerts A (1997) Fresenius J Anal Chem 359 : 326-330
12. Krivan V (1991) Nachr Chem Tech Lab 39 : 536-540
13. Theimer KH, Krivan V (1990) Anal Chem 62 : 2722-2727
14. Krivan V, Franek M (1995) Fresenius J Anal Chem 351 : 117-124
15. Krivan V, Theimer KH, Lucic M (1998) Fresenius J Anal Chem 360 : 527-534
16. Herzner P, Heumann KG (1992) Mikrochim Acta [Wien] 106 : 127-135
17. Herzner P, Heumann KG (1992) Anal Chem 64 : 2942-2944
18. Heumann KG (1992) Mass Spectrom Rev 11 : 41-67
19. Seubert A (1993) Fresenius J Anal Chem 345 : 547-563
20. Seubert A, Meinke R (1994) Fresenius J Anal Chem 348 : 510-519
21. Seubert A, Wilhartitz P, Krismer R, Krabichler H (1995) Mikrochim Acta 117 : 245-260
22. Seubert A (1996) Fresenius J Anal Chem 354 : 788-796
23. Wilhartitz P, Dreer S, Krismer R, Bobleter O (1997) Mikrochim Acta 125 : 45-52
24. Wildner H, Wünsch G (1994) J Prakt Chem 336 : 408-14