Molding of LIGA microstructures from fluorinated polymers

Microsystem Technologies

Volumn 2, Issue 4, 1996, Pages 182-185

  Ruprecht, R ^a   Kalb, H ^b   Kowanz, B ^b   Bacher, W ^a  

^a KARLSRUHE INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Germany)

^b Bürkert GmbH and Co   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0342714884     PISSN: 09467076     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1007/s005420050041     Document Type: Article

References (15)

1. Bacher W; Linder G; Ruprecht R (1993/1994), Große Stückzahlen, Maschinenmarkt 99, 51/52 (1993), pp. 40-43, Für Mikrosysteme Maschinenmarket 100/112 (1994), pp. 34-39
2. Bacher W; Linder G; Ruprecht R (1993/1994), Große Stückzahlen, Maschinenmarkt 99, 51/52 (1993), pp. 40-43, Für Mikrosysteme Maschinenmarket 100/112 (1994), pp. 34-39
3. Bley P; Göttert J; Harmening M; Himmelhaus M; Menz W; Mohr J; Müller C; Wallrabe U (1991), The LIGA-Process for the Fabrication of Micromechanical and Microoptical Components, Micro System Technologies, ICC Berlin
4. Bley P; Menz W; Bacher W; Feit K; Harmening M; Klein H; Mohr J; Schomburg W; Stark W (1991), Application of the LIGA-Process in fabrication of threedimensional mechanical microstructures, MicroProcess Conference, Kanazana, Japan
5. Both A; Bacher W; Heckele M; Müller KD; Ruprecht R; Strohmann M (1995), Molding process with high augment precision for the LIGA-technology, Micro Electro and Mechanical Systems (MEMS), Amsterdam, Netherlands 95, pp. 136-190
6. Büstgens B; Bacher W; Bier B; Ehnes R; Keydel L; Maas D; Ruprecht R; Schomburg WK (1994), Micromembrane Pump Manufactured by Molding, Actuator, Bremen, Juni 1994
7. Domininghaus H (1988), Die Kunststoffe und ihre Eigenschaften, VDI-Verlag
8. Fahrenberg J; Bier W; Maas, D; Menz, W; Ruprecht, R; Schomburg, WK (1995), A Microvalve System Fabricated by Thermoplastic Molding, J. Micromechn. Microeng., 5, pp. 169-171
9. Harmening, M; Bacher, W; Bley P; El-Kholi A; Kalb H; Kowanz B; Menz W; Michel A; Mohr J (1992), Molding of three-dimensional microstructures by the LIGA Process, Micro Electro Mechanical Systems MEMS 1992, Travemünde
10. Hoffmann W; Bruns M; Büstgens B; Bychkow E; Eggert H; Keller W; Mass D; Rapp R; Ruprecht R; Schomburg WK; Süß W (1994), Electrochemical Microanalytical System for Ionometric Measurements, Micro Total Analytical Systems (μTas), Enschede, Netherlands
11. Kalb H; Bacher W; Harmening M; Ruprecht R (1995), Grundlegende Untersuchungen zur Fertigung gestufter Mikrostrukturen aus fluorierten Polymeren nach dem LIGA-Verfahren, FZKA-Bericht 5576, Forschungszentrum Karlsruche
12. Menz W; Bley P; (1993), Mikrosystemtechnik für lngenieure; VCH-Verlag
13. Müller C; Hein H; Mohr J (1993), Mikrospektrometer für spektrale Analyseaufgaben im Sichtbaren und nahen Infrarotbereich. KfK-Bericht 5238, Forschungszentrum Karlsruhe
14. Nöker F; Keydel L (1992), Herstellen von Mikrostrukturkörpern aus Kunststoffen, Kunststoffe 1982, September, pp. 798-801
15. Ruprecht R; Bacher W; Both A; Dinglreiter H; Kalb H (1993), Darstellung einfacher Mikrosysteme durch Kunststoffabformung und Galvanoformung auf integrierten Schaltkreisen, KfK-Bericht 5238, Kernforschungszentrum Karlsruhe, pp. 120-126