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Volumn 76, Issue 4, 2003, Pages 3-6

High-temperature deposition of carbon films

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CARBON; FILM GROWTH; MATHEMATICAL MODELS; POROSITY; THERMAL CONDUCTIVITY OF SOLIDS; THIN FILMS;

EID: 0242662765     PISSN: 00210285     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.