Pressure control of properties of pulsed laser deposited carbon and carbon nitride films

Journal of Applied Physics

Volumn 94, Issue 3, 2003, Pages 2097-2101

  Szörényi, Tamás ^a,b   Fogarassy, Eric ^b  

^a RESEARCH GROUP ON LASER PHYSICS   (Hungary)

^b Faculté de Médecine   (France)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CARBON NITRIDE; COMPOSITION; LASER TUNING; PRESSURE CONTROL; PULSED LASER DEPOSITION; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY; X RAY DIFFRACTION ANALYSIS; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY;

CHEMICAL EFFECT;

FILM GROWTH;

EID: 0042933945     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1589171     Document Type: Article

References (53)

1. S. Muhl and J. M. Méndez, Diamond Relat. Mater. 8, 1809 (1999).
2. T. Malkow, Mater. Sci. Eng., A 302, 311 (2001).
3. E. D'Anna, A. Luches, A. Perrone, S. Acquaviva, R. Alexandrescu, I. N. Mihailescu, J. Zemek, and G. Majni, Appl. Surf. Sci. 106, 126 (1996).
4. Z. J. Zhang, S. Fan, J. Huang, and C. M. Lieber, J. Electron. Mater. 25, 57 (1996).
5. C. Jama, V. Rousseau, O. Dessaux, and P. Goudmand, Thin Solid Films 302, 58 (1997).
6. D. J. Johnson, Y. Chen, Y. He, and R. H. Prince, Diamond Relat. Mater. 6, 1799 (1997).
7. A. P. Caricato, G. Leggieri, A. Luches, A. Perrone, E. Gyorgy, I. N. Mihailescu, M. Popescu, G. Barucca, P. Mengucci, J. Zemek, and M. Trchova, Thin Solid Films 307, 54 (1997).
8. M. Okoshi, H. Kumagai, and K. Toyoda, J. Mater. Res. 12, 3376 (1997).
9. J. Bulír, M. Jelínek, V. Vorlícek, J. Zemek, and V. Perina, Thin Solid Films 292, 318 (1997).
10. J. Hu, P. Yang, and C. M. Lieber, Phys. Rev. B 57, R3185 (1998).
11. F. Kokai, K. Yamamoto, Y. Koga, S. Fujiwara, and R. B. Heimann, Appl. Phys. A: Mater. Sci, Process. 66, 403 (1998).
12. M. L. De Giorgi, G. Leggieri, A. Luches, M. Martino, A. Perrone, A. Zocco, G. Barucca, G. Majni, E. Gyorgy, I. N. Mihailescu, and M. Popescu, Appl. Surf. Sci. 127-129, 481 (1998).
13. Y. F. Lu, Z. M. Ren, W. D. Song, D. S. H. Chan, T. S. Low, K. Gamani, G. Chen, and K. Li, J. Appl. Phys. 84, 2909 (1998).
14. G. Barucca, G. Majni, P. Mengucci, G. Leggieri, A. Luches, M. Martino, and A. Perrone, J. Appl. Phys. 86, 2014 (1999).
15. E. D'Anna, M. L. De Giorgi, A. Luches, M. Martino, A. Perrone, and A. Zocco, Thin Solid Films 347, 72 (1999).
16. C. Popov, M. Jelínek, B. Ivanov, R. I. Tomov, and W. Kulisch, Diamond Relat. Mater. 8, 577 (1999).
17. A. Zocco, A. Perrone, E. D'Anna, G. Leggieri, A. Luches, A. Klini, I. Zergioti, and C. Fotakis, Diamond Relat. Mater. 8, 582 (1999).
18. S. Trusso, C. Vasi, and F. Neri, Thin Solid Films 355-356, 219 (1999).
19. M. Jelínek, J. Zemek, M. Trchová, V. Vorlícek, J. Lamov, R. Tomov, and M. Simecková, Thin Solid Films 366, 69 (2000).
20. P. González, R. Soto, F. Lusquinos, B. León, and M. Pérez-Amor, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 3004 (2000).
21. E. Riedo, F. Comin, J. Chevrier, F. Schmithusen, S. Decossas, and M. Sancrotti, Surf. Coat. Technol. 125, 124 (2000).
22. E. Riedo, F. Comin, J. Chevrier, and A. M. Bonnot, J. Appl. Phys. 88, 4365 (2000).
23. F. Barreca, A. M. Mezzasalma, G. Mondio, F. Neri, S. Trusso, and C. Vasi, Thin Solid Films 377-378, 631 (2000).
24. M. E. Ramsey, E. Poindexter, J. S. Pelt, J. Marin, and S. M. Durbin, Thin Solid Films 360, 82 (2000).
25. T. Szörényi, C. Fuchs, E. Fogarassy, J. Hommet, and F. Le Normand, Surf. Coat. Technol. 125, 308 (2000).
26. T. Szörényi, F. Antoni, E. Fogarassy, and I. Bertóti, Appl. Surf. Sci. 168, 248 (2000).
27. P. Papakonstantinou, D. A. Zeze, A. Klini, and J. McLaughlin, Diamond Relat. Mater. 10, 1109 (2001).
28. J. Bulír, M. P. Delplancke-Ogletree, J. Lancok, M. Jelínek, C. Popov, A. Klett, and W. Kulisch, Diamond Relat. Mater. 10, 1901 (2001).
29. E. György, V. Nelea, I. N. Mihailescu, A. Perrone, H. Pelletier, A. Cornet, S. Ganatsios, and J. Werckmann, Thin Solid Films 388, 93 (2001).
30. T. Szörényi; J-P. Stoquert, J. Perriere, F. Antoni, and E. Fogarassy, Diamond Relat. Mater. 10, 2107 (2001).
31. A. M. Mezzasalma, G. Mondio, F. Neri, and S. Trusso, Appl. Phys. Lett. 78, 326 (2001).
32. O. Geszti, G. Radnóczi, I. Bertóti, T. Szörényi, F. Antoni, and E. Fogarassy, Appl. Surf. Sci. 186, 502 (2002).
33. H. Ling, J. D. Wu, J. Sun, W. Shi, Z. F. Ying, N. Xu, W. J. Pan, X. M. Ding, and Z. Y. Zhou, Diamond Relat. Mater. 11, 1584 (2002).
34. P. Boher, E. Fogarassy, T. Szörenyi, and F. Antoni, Surf. Coat. Technol. 151-152, 144 (2002).
35. T. Szörényi, A. L. Tóth, I. Bertóti, F. Antoni, and E. Fogarassy, Diamond Relat. Mater. 11, 1153 (2002).
36. I. Bertóti, T. Szörényi, F. Antoni, and E. Fogarassy, Diamond Relat. Mater. 11, 1157 (2002).
37. Y. H. Cheng, Z. H. Sun, B. K. Tay, S. P. Lau, X. L. Qiao, J. G. Chen, Y. P. Wu, C. S. Xie, Y. Q. Wang, D. S. Xu, S. B. Mo, and Y. B. Sun, Appl. Surf. Sci. 182, 32 (2001).
38. Z. Y. Chen, J. P. Zhao, T. Yano, and T. Ooie, Diamond Relat. Mater. 11, 1629 (2002).
39. N. Xu, F. Cui, H. Lin, Z. Ying, J. Wu, Y. Du, and F. Li, J. Appl. Phys. 92, 496 (2002).
40. Z. Y. Chen, J. P. Zhao, T. Yano, and T. Ooie, J. Appl. Phys. 92, 281 (2002).
41. A. Zocco, A. Perrone, E. Broitman, Zs. Czigany, L. Hultman, M. Anderle, and N. Laidani, Diamond Relat. Mater. 11, 99 (2002).
42. J. Bulír, M. Novotny, M. Jelínek, J. Lancok, Z. Zelinger, and M. Trchová, Diamond Relat. Mater. 11, 1223 (2002).
43. Zs. Geretovszky, T. Haraszti, T. Szörényi, F. Antoni, and E. Fogarassy, Appl. Surf. Sci. 208-209, 566 (2003).
44. C. Vivien, M. Dinescu, P. Meheust, C. Boulmer-Leborgne, A. P. Caricato, and J. Perriere, Appl. Surf. Sci. 127-129, 668 (1998).
45. C. Vivien, J. Hermann, A. Perrone, C. Boulmer-Leborgne, and A. Luches, J. Phys. D 31, 1263 (1998).
46. R. Henck, C. Fuchs, E. Fogarassy, J. Hommet, and F. Le Normand, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 526, 337 (1998).
47. F. Alvarez, M. C. dos Santos, and P. Hammer, Appl. Phys. Lett. 73, 3521 (1998).
48. J. K. Walters, M. Kühn, C. Spaeth, E. Dooryhee, and R. J. Newport, J. Appl. Phys. 83, 3529 (1998).
49. C. Spaeth, M. Kühn, F. Richter, U. Falke, M. Hietschold, R. Kilper, and U. Kreissig, Diamond Relat. Mater. 7, 1727 (1998).
50. E. Fogarassy, T. Szörényi, F. Antoni, J.-P. Stoquert, G. Pirio, J. Olivier, P. Legagneux, P. Boher, and O. Pons-Y-Moll, Appl. Surf. Sci. 197-198, 316 (2002).
51. E. Fogarassy, T. Szörényi, F. Antoni, G. Pirio, J. Olivier, P. Legagneux, and P. Boher, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 76, 15 (2003).
52. E. Broitman, W. T. Zheng, H. Sjöström, I. Ivanov, J. E. Greene, and J.-E. Sundgren, Appl. Phys. Lett. 72, 2532 (1998).
53. N. Hellgren, K. Macák, E. Broitman, M. P. Johansson, L. Hultman, and J.-E. Sundgren, J. Appl. Phys. 88, 524 (2000).