Confocal laser scanning microscopy for optical measurement of the microstructure of surfaces and layers;Konfokale Laserscan-Mikroskopie zur optischen Vermessung der Mikrotopographie von Oberflächen und Schichten

Technisches Messen

Volumn 63, Issue 4, 1996, Pages 136-141

  Kapitza, Hans Georg ^a  

^a Enlwicklungslabor F Digitale M   (Germany)

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EID: 0042585476     PISSN: 01718096     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

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