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Volumn 32, Issue 3, 1998, Pages 193-196

Formation and decay of active species in a chlorine-oxygen plasma

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EID: 0042394754     PISSN: 00181439     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article
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References (1)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.