Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Precision Engineering;Anwendung der Mikrotechnologie in der Messtechnik

Technisches Messen

Volumn 66, Issue 12, 1999, Pages 476-484

  Gatzen, Hans Heinrich ^a  

^a LEIBNIZ UNIVERSITY HANNOVER   (Germany)

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ELECTROMECHANICAL SYSTEMS; MICRO TECHNOLOGY; MINIATURIZED DEVICES; NANOMACHINING; PHYSICAL EFFECTS; SINGLE WAFER;

MEMS; MICROELECTRONICS;

PRECISION ENGINEERING;

EID: 0042134628     PISSN: 01718096     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

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