Donor activation and electronic screening at an antimony δ layer in silicon

Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics

Volumn 54, Issue 11, 1996, Pages 7972-7978

  Thornton, J ^a   Cole, R ^a   Weightman, P ^a   Gravesteijn, D ^b  

^a UNIVERSITY OF LIVERPOOL   (United Kingdom)

^b PHILIPS RESEARCH LABORATORIES   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0041855544     PISSN: 10980121     EISSN: 1550235X     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevB.54.7972     Document Type: Article

References (28)

1. H. Jorke, Surf. Sci. 193, 569 (1989).
2. K. D. Hobart, D. J. Godbey and P. E. Thompson, Appl. Phys. Lett. 61, 76 (1992).
3. E. V. Thomsen, O. Hansen, K. Harrekilde-Petersen, J. L. Hansen, S. Y. Shiryaev and A. Nylandsted Larsen, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3016 (1994).
4. A. A. van Gorkum, K. Nakagawa and Y. Shiraki, Jpn. J. Appl. Phys. 26, L1933 (1987).
5. H.-J. Gossmann, E. F. Schubert, D. J. Eaglesham and M. Cerullo, Appl. Phys. Lett. 57, 2440 (1990).
6. C. van Opdorp, L. J. van Ijzendoorn, C. W. Fredriksz and D. J. Gravesteijn, J. Appl. Phys. 72, 4047 (1992).
7. A. Casel, H. Kibbel and F. Schäffler, Thin Solid Films 183, 351 (1989).
8. A. A. van Gorkum, K. Nakagawa and Y. Shiraki, J. Appl. Phys. 65, 2485 (1989).
9. S. D. Waddington, P. Weightman, J. A. D. Matthew, and A. D. C. Grassie, Phys. Rev. B 39, 10t239 (1989).
10. A. Evans, A. D. Laine, P. Weightman, J. A. D. Matthew, D. A. Woolf, D. I. Westwood and R. H. Williams, Phys. Rev. B 46, 1513 (1992).
11. R. J. Cole, J. A. Evans, P. Weightman, J. A. D. Matthew, D. A. Woolf and D. I. Westwood, Phys. Rev. B 49, 7528 (1994).
12. R. J. Cole and P. Weightman, J. Phys. Condens. Matter 6, 5783 (1994).
13. T. D. Thomas and P. Weightman, Phys. Rev. B 33, 5406 (1986).
14. R. J. Cole, D. A. C. Gregory and P. Weightman, Phys. Rev. B 49, 5657 (1994).
15. A. A. van Gorkum, G. F. A. van de Walle, R. A. van de Heuvel, D. J. Gravesteijn and C. W. Fredriksz, Thin Solid Films 184, 207 (1990).
16. P. Weightman, Phys. Scr. T41, 277 (1992).
17. S. Doniach and M. Sunjic, J. Phys. C 3, 285 (1970).
18. M. Pessa, A. Vouristo, M. Vulli, S. Aksela, J. Väyrynen, T. Rantala and H. Aksela, Phys. Rev. B 20, 3115 (1979).
19. M. O. Krause and J. H. Oliver, J. Phys. Chem. Ref. Data 8, 329 (1979).
20. J.-M. Mariot and M. Ohno, Phys. Rev. B 34, 2182 (1986).
21. G. G. Kleiman, R. Landers, P. A. P. Nascente, and S. G. C. de Castro, Phys. Rev. B 46, 1970 (1992).
22. S. J. Fukatsu, S. Kubo, Y. Shiraki and R. Ito, J. Cryst. Growth 111, 843 (1991).
23. E. I. Levin, M. E. Raikh and B. I. Shklovskii, Phys. Rev. B 44, 11t281 (1991).
24. W. F. J. Slijkerman, P. M. Zagwijn, J. F. van der Veen, A. A. van Gorkum, and G. F. A. van der Walle, Appl. Phys. Lett. 55, 963 (1989).
25. W. F. J. Slijkerman, J. M. Gay, P. M. Zagwijn, J. F. van der Veen, J. E. Macdonald, A. A. Williams, D. J. Gravesteijn, and G. F. A. van der Walle, J. Appl. Phys. 68, 5105 (1990).
26. A. R. Williams and N. D. Lang, Phys. Rev. Lett. 40, 954 (1978).
27. L. Ley, S. P. Kowalczyk, F. R. McFeely, R. A. Pollack and D. A. Shirley, Phys. Rev. B 8, 2302 (1973).
28. D. J. Gravesteijn (unpublished).