Reduced nonradiative recombination in etched/regrown AlGaAs/GaAs structures fabricated by in situ processing

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 14, Issue 6, 1996, Pages 3646-3649

  Kohmoto, S ^a   Nambu, Y ^a   Asakawa, K ^a   Ishikawa, T ^b  

^a NEC CORPORATION   (Japan)

^b Optoelectronics Technology Research Laboratory   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0041422034     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.588742     Document Type: Article

References (13)

1. B. E. Maile, A. Forchel, R. Germann, and J. Straka, Appl. Phys. Lett. 57, 807 (1990).
2. A. Izrael, J. Y. Marzin, B. Sermage, L. Birotheau, D. Robein, R. Azouley, J. L. Benchimol, L. Henry, V. Thierry-Mieg, F. R. Ladan, and L. Taylor, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 3256 (1991).
3. R. Bergmann, A. Menschig, G. Lehr, P. Kübler, J. Hommel, R. Rudeloff, B. Henle, F. Scholz, and H. Schweizer, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2893 (1992).
4. E. M. Clausen, Jr., J. P. Harbison, L. T. Florez, and B. Van der Gaag, J. Vac. Sci. Technol. B 8, 1960 (1990).
5. Y. Kadoya, H. Noge, H. Kano, H. Sakaki, N. Ikoma, and N. Nishiyama, Appl. Phys. Lett. 61, 1658 (1992).
6. M. Hong, R. S. Freund, K. D. Choquette, H. S. Luftman, J. P. Mannaerts, and R. C. Wetzel, Appl. Phys. Lett. 62, 2658 (1993); M. Hong, J. P. Mannaerts, L. Grober, S. N. G. Chu, H. S. Luftman, K. D. Choquette, and R. S. Freund, J. Appl. Phys. 75, 3105 (1994).
7. M. Hong, R. S. Freund, K. D. Choquette, H. S. Luftman, J. P. Mannaerts, and R. C. Wetzel, Appl. Phys. Lett. 62, 2658 (1993); M. Hong, J. P. Mannaerts, L. Grober, S. N. G. Chu, H. S. Luftman, K. D. Choquette, and R. S. Freund, J. Appl. Phys. 75, 3105 (1994).
8. T. A. Strand, B. J. Thibeault, D. S. L. Mui, L. A. Coldren, P. M. Petroff, and E. L. Hu, Appl. Phys. Lett. 66, 1966 (1995).
9. N. Hamao, Y. Sugimoto, M. Sugimoto, and H. Yokoyama, Inst. Phys. Conf. Ser. 129, 609 (1992).
10. T. Ishikawa, I. Matsuyama, N. Tanaka, M. Lopez, M. Tamura, and Y. Nambu, Jpn. J. Appl. Phys. 34, L1412 (1995).
11. S. Kohmoto, N. Takado, Y. Sugimoto, M. Ozaki, M. Sugimoto, and K. Asakawa, Appl. Phys. Lett. 61, 444 (1992).
12. R. Müller, Appl. Phys. Lett. 57, 1020 (1990).
13. Y. Nambu, S. Kohmoto, and K. Asakawa, Proc. LEOS '95 1, 79 (1995).