Electronic properties of GaAs surfaces etched in an electron cyclotron resonance source and chemically passivated using P2S5

Applied Physics Letters

Volumn 73, Issue 1, 1998, Pages 114-116

  Glembocki, O J ^a   Tuchman, J A ^a   Dagata, J A ^b   Ko, K K ^c   Pang, S W ^c   Stutz, C E ^d  

^a NAVAL RESEARCH LABORATORY   (United States)

^b NATIONAL INSTITUTE OF STANDARDS AND TECHNOLOGY   (United States)

^c UNIVERSITY OF MICHIGAN   (United States)

^d Wright Patterson AF Res Laboratory   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0038268489     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.121785     Document Type: Article

References (19)

1. O. J. Glembocki, J. A. Tuchman, K. K. Ko, S. W. Pang, A. Giordana, R. Kaplan, and C. E. Stutz, Appl. Phys. Lett. 66, 3054 (1995).
2. K. K. Ko and S. W. Pang, J. Electrochem. Soc. 141, 255 (1994).
3. K. K. Ko, S. W. Pang, T. Brock, M. W. Cole, and L. M. Cassas, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3382 (1994).
4. H. H. Lee, R. J. Racicot, and S. H. Lee, Appl. Phys. Lett. 54, 724 (1989).
5. K. C. Hwang and S. S. Li, Appl. Phys. Lett. 67, 2162 (1990).
6. J. A. Dagata, W. Tseng, J. Bennett, J. Schneir, and H. H. Harary, Appl. Phys. Lett. 59, 3288 (1991);
7. Ultramicroscopy 42-44, 1288 (1992).
8. O. J. Glembocki, J. A. Dagata, E. E. Dobisz, and D. S. Katzer, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 236, 217 (1992).
9. F. H. Pollak, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 1710 (1993);
10. see also J. M. Woodall, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 324, 141 (1994).
11. X. Yin, H. M. Chen, F. H. Pollak, Y. Cao, P. A. Montano, P. D. Kirchner, G. D. Pettit, and J. M. Woodall, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 2114 (1991).
12. X. Yin, H. M. Chen, F. H. Pollak, Y. Cao, P. A. Montano, P. D. Kirchner, G. D. Pettit, and J. M. Woodall, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 131 (1991).
13. O. J. Glembocki, J. A. Dagata, E. S. Snow, and D. S. Katzer, Appl. Surf. Sci. 63, 143 (1993).
14. H. Nakanishi, K. Wada, and W. Walukiewicz, J. Appl. Phys. 78, 5103 (1995).
15. M. Lopez-Lopez, M. Melendez-Lira, and S. Goto, Appl. Phys. Lett. 71, 338 (1997).
16. O. J. Glembocki, Proc. SPIE 1286, 1 (1990).
17. D. E. Aspnes, Phys. Rev. 153, 972 (1967);
18. R. N. Bhattacharya, H. Shen, P. Parayanthal, F. H. Pollak, T. Coutts, and H. Aharoni, Phys. Rev. B 37, 4044 (1988).
19. D. Yan, F. H. Pollak, T. P. Chin, and J. M. Woodall, Phys. Rev. B 52, 4674 (1995).