Coimplantation of silver and halogens in thin SiO2 films

Journal of Applied Physics

Volumn 79, Issue 8, 1996, Pages 3915-3920

  Pham, M T ^a   Moller D ^a   Huller J ^a   Albrecht, J ^a,b  

^a INSTITUTE OF ION BEAM PHYSICS AND MATERIALS RESEARCH   (Germany)

^b SGS Institut Fresenius GmbH   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0037839529     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.361817     Document Type: Article

References (30)

1. G. W. Arnold and J. A. Border, J. Appl. Phys. 48, 1488 (1977).
2. P. Mazzoldi, F. Caccavale, E. Cattaruzza, A. Boscolo-Boscoletto, R. Bertoncello, A. Glisenti, G. Battaglin, and C. Gerardi, Nucl. Instrum. Methods B 65, 367 (1992).
3. N. Matsunami and H. Hosono, Appl. Phys. Lett. 63, 2050 (1993).
4. N. Matsunami and H. Hosono, Nucl. Instrum. Methods B 80/81, 1233 (1993).
5. P. Mazzoldi, L. Tramontin, A. Boscolo-Boscoletto, G. Battaglin, and G. W. Arnold, Nucl. Instrum. Methods B 80/81, 1192 (1993).
6. P. Mazzoldi, G. W. Arnold, G. Battaglin, R. Bertoncello, and F. Gonella, Nucl. Instrum. Methods B 91, 478 (1994).
7. R. A. Wood, P. D. Townsend, N. D. Skelland, D. E. Hole, J. Barton, and C. N. Afonso, J. Appl. Phys. 74, 5754 (1993).
8. N. D. Skelland and P. D. Townsend, Nucl. Instrum. Methods B 93, 433 (1994).
9. N. D. Skelland, J. Sharp, and P. D. Townsend, Nucl. Instrum. Methods B 90, 446 (1994).
10. K. Fukumi, A. Chayahara, K. Kadono, T. Sakaguchi, Y. Horino, M. Miya, K. Fujii, J. Hayakawa, and M. Satou, J. Appl. Phys. 75, 3075 (1994).
11. R. H. Magruder III, Li Yang, R. F. Haglund, C. W. White, Lina Yang, R. Dorsinville, and R. R. Alfano, Appl. Phys. Lett. 62, 1730 (1993).
12. T. L. Alford and N. David Theodore, J. Appl. Phys. 76, 7265 (1994).
13. G. W. Arnold, J. Appl. Phys. 46, 4466 (1975).
14. R. F. Haglund, Jr., R. H. Magruder III, L. Yang, K. Becker, J. E. Wittig, and R. A. Zuhr, Opt. Lett. 18, 373 (1993).
15. K. Fukumi, A. Chayahara, K. Kadono, T. Sakaguchi, Y. Horino, M. Miya, J. Hayakawa, and M. Satou, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 742 (1991).
16. R. F. Haglund, Jr., Li Yang, R. H. Magruder III, C. W. White, R. A. Zuhr, Lina Yang, R. Dorsinville, and R. R. Alfano, Nucl. Instrum. Methods B 91, 493 (1994).
17. H. Hosono, H. Fukushima, Y. Abe, R. A. Weeks, and R. A. Zuhr, J. Non-Cryst. Solids 143, 157 (1992).
18. H. Hosono, Y. Abe, and N. Matsunami, Appl. Phys. Lett. 60, 2613 (1992).
19. P. Mazzoldi, F. Caccavale, E. Cattaruzza, A. Boscolo-Boscoletto, R. Bertoncello, A. Glisenti, G. Battaglin, and C. Gerardi, Nucl. Instrum. Methods B 65, 367 (1992).
20. R. F. Haglund, Jr., R. H. Magruder III, S. H. Morgan, D. O. Henderson, R. A. Weller, L. Yang, and R. A. Zuhr, Nucl. Instrum. Methods B 65, 405 (1992).
21. P. Mazzoldi, F. Caccavale, E. Cattaruzza, P. Chakraborty, L. Tramontin, A. Boscolo-Boscoletto, R. Bertoncello, F. Trivillin, G. Battaglin, and G. W. Arnold, Nucl. Instrum. Methods B 91, 505 (1994).
22. R. H. Magruder III, R. F. Haglund, Jr., L. Yang, J. E. Wittig, and R. A. Zuhr, J. Appl. Phys. 76, 708 (1994).
23. R. Bertoncello, F. Trivillin, E. Cattaruzza, P. Mazzoldi, G. W. Arnold, G. Battaglin, and M. Catalano, J. Appl. Phys. 77, 1294 (1995).
24. P. Mazzoldi, G. W. Arnold, G. Battaglin, R. Bertoncello, and F. Gonella, Nucl. Instrum. Methods B 91, 478 (1994).
25. R. H. Magruder III, R. A. Zuhr, and R. A. Weeks, Nucl. Instrum. Methods B 59/60, 1308 (1991).
26. F. Caccavale, G. De Marchi, F. Gonella, P. Mazzoldi, C. Meneghini, A. Quaranta, G. W. Arnold, G. Battaglin, and G. Mattei, Nucl. Instrum. Methods B 96, 382 (1995).
27. A. K. Rai, R. S. Bhattacharya, and S. C. Kung, J. Appl. Phys. 68, 5169 (1990).
28. J. P. Biersack and L. G. Haggmark, Nucl. Instrum. Methods 174, 275 (1980).
29. M. T. Pham, W. Hoffmann, and J. Hüller, Sensors and Actuators B 8, 227 (1992).
30. N. Matsunami, Y. Yamamura, Y. Itikawa, N. Itoh, Y. Kazumata, S. Miyagawa, K. Morita, R. Shimizu, and H. Tawara, At. Data Nucl. Data Tables 31, 1 (1984).