Phase transformation of sputter deposited tungsten thin films with A-15 structure

Journal of Applied Physics

Volumn 79, Issue 12, 1996, Pages 9134-9141

  O'Keefe, M J ^a   Grant, J T ^b  

^a AIR FORCE RESEARCH LABORATORY   (United States)

^b UNIVERSITY OF DAYTON   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0037787536     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.362584     Document Type: Article

References (30)

1. I. A. Weerasekera, S. I. Shah, D. V. Baxter, and K. M. Unruh, Appl. Phys. Lett. 64, 3231 (1994).
2. M. Arita and I. Nishida, Jpn. J. Appl. Phys. 32, 1759 (1993).
3. T. Kizuka, T. Sakamoto, and N. Tanaka, J. Cryst. Growth 131, 439 (1993).
4. S. I. Shah, B. A. Doele, C. R. Fincher, K. M. Unruh, and I. Weerasekera, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 1470 (1993).
5. R. R. Kola, G. K. Celler, J Frackoviak, C. W. Jurgensen, and L. E. Trimble, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3301 (1991).
6. D. P. Basile, C. L. Bauer, S. Mahajan, A. G. Milnes, T. N. Jackson, and J. DeGelormo, Mater Sci. Eng. B 10, 171 (1991).
7. Y. Kuriyama, and S. Ohfuji, J. Appl. Phys. 66, 2446 (1989).
8. P. Collot, B. Agius, P. Estrache, M. C. Hugon, M. Froment, J. Bessot, and Y. Crassin, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 2319 (1988).
9. M. Gasgnier, L. Nevot, P. Ballif, and J. Bardolle, Phys. Status Solidi A 79, 531 (1983).
10. P. M. Petroff and W. A. Reed, Thin Solid Films 21, 73 (1974).
11. R. S. Wagner, A. K. Sinha, T. T. Sheng, H. J. Levinstein, and F. B. Alexander, J. Vac. Sci. Technol. 11, 582 (1974).
12. P. Petroff, T. T. Sheng, A. K. Sinha, G. A. Rozgonyi, and F. B. Alexander, J. Appl. Phys. 44, 2545 (1973).
13. S. Basavaiah and S. R. Pollack, J. Appl. Phys. 39, 5548 (1968).
14. S. Basavaiah and S. R. Pollack, Appl. Phys. Lett. 12, 259 (1968).
15. W. L. Bond, A. S. Cooper, K. Andres, G. W. Hull, T. H. Geballe, and B. T. Matthias, Phys. Rev. Lett. 15, 260 (1963).
16. R. L. Moss and I. Woodward, Acta. Cryst. 12, 255 (1959).
17. M. J. O'Keefe, J. T. Grant, and J. S. Solomon, J. Electron. Mater. 24, 961 (1995).
18. A. S. Kao, C. Hwang, V. J. Novotny, V. R. Deline, and G. L. Gorman, J. Vac. Sci. Technol. A 7, 2966 (1989).
19. K. M. Yu, S. K. Cheung, T. Sands, J. M. Jaklevic, N. W. Cheung, and E. E. Haller, J. Appl. Phys. 60, 3235 (1986).
20. H. L. Pinch, J. Vac. Sci. Technol. 12, 60 (1975).
21. F. M. Kilbane and P. S. Habig, J. Vac. Sci. Technol. 12, 107 (1975).
22. F. M. Ross, R. R. Kola, R. Hull, and J. C. Beam, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 318, 697 (1994).
23. W. R. Morcom, W. L. Worrell, H. G. Sell, and H. I. Kaplan, Metall. Trans. 5, 155 (1974).
24. G. Mannella and J. O. Hougen, J. Phys. Chem. 60, 1148 (1956).
25. G. Hägg and N. Schönberg, Acta. Cryst. 7, 351 (1954).
26. ASM Metals Reference Book, edited by M. Bauccio (American Society for Metals, Metals Park, OH, 1994).
27. The Crystal Chemistry and Physics of Metals and Alloys, W. B. Pearson (Wiley-Interscience, New York, 1972).
28. M. J. O'Keefe and C. L. Cerny, Mater. Res. Soc. Proc. 387, 377 (1995).
29. M. J. O'Keefe, S. Horiuchi, J. M. Rigsbee, and J. P. Chu, Thin Solid Films 247, 169 (1994).
30. The Theory of Transformations in Metals and Alloys, Part I, J. W. Christian, 2nd ed. (Pergamon, Oxford, 1975).