Sensors for scanning probe microscopy

Applied Physics A: Materials Science and Processing

Volumn 76, Issue 6, 2003, Pages 907-911

  Kassing, R ^a   Rangelow, I W ^a   Oesterschulze, E ^a   Stuke, M ^b  

^a UNIVERSITY OF KASSEL   (Germany)

^b MAX PLANCK INSTITUTE FOR BIOPHYSICAL CHEMISTRY   (Germany)

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DATA PROCESSING; DRY ETCHING; LITHOGRAPHY; NEAR FIELD SCANNING OPTICAL MICROSCOPY; OPTICAL MATERIALS; PROBLEM SOLVING; REACTIVE ION ETCHING;

SCANNING PROBE MICROSCOPY;

OPTICAL SENSORS;

EID: 0037389504     PISSN: 09478396     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1007/s00339-002-1974-7     Document Type: Conference Paper

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