A modular approach for simulation-based optimization of MEMS

Microelectronics Journal

Volumn 33, Issue 1-2, 2002, Pages 29-38

  Schneider, Peter ^a   Schneider, André ^a   Schwarz, Peter ^a  

^a FRAUNHOFER INSTITUTE FOR INTEGRATED CIRCUITS   (Germany)

Author keywords

Distributed optimization via Internet; Finite element method; Heterogeneous systems; MEMS; Microsystems; Modular optimization system; Multi level simulation; Optimization; System simulation

Indexed keywords

ALGORITHMS; COMPUTER AIDED SOFTWARE ENGINEERING; COMPUTER SIMULATION; FINITE ELEMENT METHOD; GRAPHICAL USER INTERFACES; OPTIMIZATION; RANDOM PROCESSES; WORLD WIDE WEB;

DISTRIBUTED OPTIMIZATION; MICROSYSTEMS; MODULAR OPTIMIZATION;

MICROELECTROMECHANICAL DEVICES;

EID: 0037005909     PISSN: 00262692     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0026-2692(01)00101-X     Document Type: Conference Paper

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