Exploiting intermolecular interactions and self-assembly for ultrahigh resolution nanolithography

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 20, Issue 6, 2002, Pages 2739-2744

  Anderson, M E ^a   Smith, R K ^a   Donhauser, Z J ^a   Hatzor, A ^a,c   Lewis, P A ^a   Tan, L P ^a   Tanaka, H ^a   Horn, M W ^b   Weiss, P S ^a  

^a PENNSYLVANIA STATE UNIVERSITY   (United States)

^b The Pennsylvania State University   (United States)

^c NOKIA RESEARCH CENTER   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMICAL BONDS; GOLD; MOLECULAR DYNAMICS; MONOLAYERS; PARAFFINS; PHASE SEPARATION; SCANNING TUNNELING MICROSCOPY; SELF ASSEMBLY; SULFUR; SURFACE STRUCTURE; SURFACES; THIN FILMS;

INTERMOLECULAR INTERACTIONS; SELF ASSEMBLED FILMS; SELF ASSEMBLED MONOLAYERS; ULTRAHIGH RESOLUTION NANOLITHOGRAPHY;

NANOTECHNOLOGY;

EID: 0036883154     PISSN: 0734211X     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.1515301     Document Type: Article

References (59)

1. Y. Xia and G. M. Whitesides, Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 37, 550 (1998).
2. J. Tien, Y. Xia, and G. M. Whitesides, in Thin Films, edited by A. Ulman (Academic, San Diego, 1998), Vol. 24, pp. 227-271.
3. E. Delamarche, M. Geissler, H. Wolf, and B. Michel, J. Am. Chem. Soc. 124, 3834 (2002).
4. M. Geissler, A. Bernard, A. Bietsch, H. Schmid, B. Michel, and E. Delamarche, J. Am. Chem. Soc. 122, 6303 (2000).
5. S. H. Hong and C. A. Mirkin, Science 288, 1808 (2000).
6. S. H. Hong, J. Zhu, and C. A. Mirkin, Science 286, 523 (1999).
7. R. D. Piner, J. Zhu, F. Xu, S. H. Hong, and C. A. Mirkin, Science 283, 661 (1999).
8. S. Friebel, J. Aizenberg, S. Abad, and P. Wiltzius, Appl. Phys. Lett. 77, 2406 (2000).
9. J. Aizenberg, A. J. Black, and G. M. Whitesides, Nature (London) 394, 868 (1998).
10. J. Aizenberg, A. J. Black, and G. M. Whitesides, Nature (London) 398, 495 (1999).
11. G.-Y. Liu, S. Xu, and Y. Qian, Acc. Chem. Res. 33, 457 (2000).
12. G. E. Poirier, Chem. Rev. 97, 1117 (1997).
13. G. E. Poirier and E. D. Pylant, Science 272, 1145 (1996).
14. S. J. Stranick, M. M. Kamna, K. R. Krom, A. N. Parikh, D. L. Allara, and P. S. Weiss, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 2004 (1994).
15. R. G. Nuzzo and D. L. Allara, J. Am. Chem. Soc. 105, 4481 (1983).
16. R. G. Nuzzo, B. R. Zegarski, and L. H. Dubois, J. Am. Chem. Soc. 109, 733 (1987).
17. C. D. Bain, E. B. Troughton, Y.-T. Tao, J. Evall, G. M. Whitesides, and R. G. Nuzzo, J. Am. Chem. Soc. 111, 321 (1989).
18. N. Camillone, P. Eisenberger, T. Y. B. Leung, P. Schwartz, G. Scoles, G. E. Poirier, and M. J. Tarlov, J. Chem. Phys. 101, 11031 (1994).
19. J. J. Hickman, C. F. Zou, D. Ofer, P. D. Harvey, M. S. Wrighton, P. E. Laibinis, C. D. Bain, and G. M. Whitesides, J. Am. Chem. Soc. 111, 7271 (1989).
20. C. W. Sheen, J. X. Shi, J. Martensson, A. N. Parikh, and D. L. Allara, J. Am. Chem. Soc. 114, 1515 (1992).
21. Y. Gu, Z. Lin, R. A. Butera, V. S. Smentkowski, and D. H. Waldeck, Langmuir 11, 1849 (1995).
22. C. Yan, M. Zharnikov, A. Gölzhauser, and M. Grunze, Langmuir 16, 6208 (2000).
23. D. L. Allara and R. G. Nuzzo, Langmuir 1, 45 (1985).
24. F. Xu, J. Zhu, and C. A. Mirkin, Langmuir 16, 2169 (2000).
25. F. Xu, K. M. Chen, R. D. Piner, C. A. Mirkin, J. E. Ritchie, and J. T. McDevitt, Langmuir 14, 6505 (1998).
26. K. M. Chen, F. Xu, C. A. Mirkin, R. K. Lo, K. S. Nanjundaswamy, J. P. Zhou, and J. T. McDevitt, Langmuir 12, 2622 (1996).
27. C. B. Murray, C. R. Kagan, and M. G. Bawendi, Annu. Rev. Mater. Sci. 30, 545 (2000).
28. M. J. Hostetler, J. E. Wingate, C.-J. Zhong, J. E. Harris, R. W. Vachet, M. D. Clark, J. D. Londono, S. J. Green, J. J. Stokes, G. D. Wignall, G. L. Glish, M. D. Porter, N. D. Evans, and R. W. Murray, Langmuir 14, 17 (1998).
29. J. J. Storhoff and C. A. Mirkin, Chem. Rev. 99, 1849 (1999).
30. L. A. Bumm, J. J. Arnold, M. T. Cygan, T. D. Dunbar, T. P. Burgin, L. Jones II, D. L. Allara, J. M. Tour, and P. S. Weiss, Science 271, 1705 (1996).
31. L. A. Bumm, J. J. Arnold, L. F. Charles, T. D. Dunbar, D. L. Allara, and P. S. Weiss, J. Am. Chem. Soc. 121, 8017 (1999).
32. L. A. Bumm, J. J. Arnold, T. D. Dunbar, D. L. Allara, and P. S. Weiss, J. Phys. Chem. B 103, 8122 (1999).
33. G. E. Poirier and M. J. Tarlov, Langmuir 10, 2853 (1994).
34. C. Schönenberger, J. Jorritsma, J. A. M. Sondag-Huethorst, and L. G. J. Fokkink, J. Phys. Chem. 99, 3259 (1995).
35. D. Anselmetti, A. Baratoff, H.-J. Güntherodt, E. Delamarche, B. Michel, C. Gerber, H. Kang, H. Wolf, and H. Ringsdorf, Europhys. Lett. 27, 365 (1994).
36. P. A. Lewis, Z. J. Donhauser, B. A. Mantooth, R. K. Smith, L. A. Bumm, K. F. Kelly, and P. S. Weiss, Nanotechnology 12, 231 (2001).
37. Z. J. Donhauser, B. A. Mantooth, K. F. Kelly, L. A. Bumm, J. D. Monnell, J. J. Stapleton, D. W. Price, A. M. Rawlett, D. L. Allara, J. M. Tour, and P. S. Weiss, Science 292, 2303 (2001).
38. S. J. Stranick, A. N. Parikh, Y. T. Tao, D. L. Allara, and P. S. Weiss, J. Phys. Chem. 98, 7636 (1994).
39. R. K. Smith, S. M. Reed, P. A. Lewis, J. D. Monnell, R. S. Clegg, K. F. Kelly, L. A. Buum, J. E. Hutchison, and P. S. Weiss, J. Phys. Chem. B 105, 1119 (2001).
40. P. A. Lewis, R. K. Smith, K. F. Kelly, L. A. Buum, S. M. Reed, R. S. Clegg, J. D. Gunderson, J. E. Hutchison, and P. S. Weiss, J. Phys. Chem. B 105, 10630 (2001).
41. P. E. Laibinis, R. G. Nuzzo, and G. M. Whitesides, J. Phys. Chem. 96, 5097 (1992).
42. J. P. Folker, P. E. Laibinis, G. M. Whitesides, and J. Deutch, J. Phys. Chem. 98, 563 (1994).
43. D. Hobara, T. Sasaki, S.-I. Imabayashi, and T. Kakiuchi, Langmuir 15, 5073 (1999).
44. S.-I. Imabayashi, D. Hobara, and T. Kakiuchi, Langmuir 13, 4502 (1997).
45. M. T. Cygan, T. D. Dunbar, J. J. Arnold, L. A. Bumm, N. F. Shedlock, T. P. Burgin, L. Jones II, D. A. Allara, J. M. Tour, and P. S. Weiss, J. Am. Chem. Soc. 120, 2721 (1998).
46. M. Weck, J. J. Jackiw, R. R. Rossi, P. S. Weiss, and R. H. Grubbs, J. Am. Chem. Soc. 121, 4088 (1999).
47. M. Weck, J. J. Jackiw, P. S. Weiss, and R. H. Grubbs, Proc. Polym. Mater. Sci. Eng. 79, 72 (1998).
48. T. Ishida, W. Mizutani, N. Choi, U. Akiba, M. Fujihira, and H. Tokumoto, J. Phys. Chem. B 104, 11680 (2000).
49. Z. J. Donhauser, P. S. Weiss, D. W. Price, and J. M. Tour (in preparation)
50. J. M. Tour, L. Jones II, D. J. Pearson, J. J. S. Lamba, T. P. Burgin, G. M. Whitesides, D. L. Allara, A. N. Parikh, and S. V. Atre, J. Am. Chem. Soc. 117, 9529 (1995).
51. J. Chen, M. A. Reed, C. L. Asplund, A. M. Cassell, M. L. Myrick, A. M. Rawlett, J. M. Tour, and P. G. van Patten, Appl. Phys. Lett. 75, 624, (1999).
52. C. Zhou, M. R. Deshpande, M. A. Reed, L. Jones II, and J. M. Tour, Appl. Phys. Lett. 71, 611 (1997).
53. J. Chen, M. A. Reed, A. M. Rawlett, and J. M. Tour, Science 286, 1550 (1999).
54. M. A. Reed, J. Chen, A. M. Rawlett, D. W. Price, and J. M. Tour, Appl. Phys. Lett. 78, 3735 (2001).
55. H. Park, A. K. Lim, J. Park, A. P. Alivisatos, and P. L. McEuen, Appl. Phys. Lett. 75, 301 (1999).
56. M. Austin and S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 665 (2002).
57. K. Liu, Ph. Avouris, J. Bucchignano, R. Martel, S. Sun, and J. Michl, Appl. Phys. Lett. 80, 865 (2002).
58. A. Hatzor and P. S. Weiss, Science 291, 1019 (2001).
59. S. D. Evans, A. Ulman, K. E. Goppert-Berarducci, and J. L. Gerenser, J. Am. Chem. Soc. 113, 5866 (1991).