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Volumn 45, Issue 1, 2002, Pages 104-106

A low-pressure excimer light source for a spectral region of 170-310 nm

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EFFICIENCY; GLOW DISCHARGES; LIGHT SOURCES; OPTICAL PUMPING; OPTIMIZATION; PERFORMANCE;

EID: 0036032790     PISSN: 00328162     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.