Vacancies and deep levels in electron-irradiated 6H SiC epilayers studied by positron annihilation and deep level transient spectroscopy

Journal of Applied Physics

Volumn 90, Issue 7, 2001, Pages 3377-3382

  Kawasuso, A ^a,d   Redmann, F ^a   Krause Rehberg, R ^a   Frank, T ^b   Weidner, M ^b   Pensl, G ^b   Sperr, P ^c   Itoh, H ^d  

^a MARTIN LUTHER UNIVERSITY HALLE WITTENBERG   (Germany)

^b UNIVERSITY OF ERLANGEN NUREMBERG   (Germany)

^c BUNDESWEHR UNIVERSITY MUNICH   (Germany)

^d JAPAN ATOMIC ENERGY AGENCY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035477012     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1402144     Document Type: Article

References (54)

1. W. J. Choyke, Inst. Phys. Conf. Ser. 31, 58 (1977).
2. L. Patrick and W. J. Choyke, Phys. Rev. B 5, 3253 (1972).
3. V. S. Ballandovich and G. N. Violina, Cryst. Lattice Defects Amorphous Mater. 13, 189 (1987).
4. J. P. Doyle, M. O. Aboelfotoh, M. K. Linnarsson, B. G. Svensson, A. Schöner, N. Nordell, D. Harris, J. L. Lindström, E. Janzén, and C. Hemmingsson, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 423, 519 (1996).
5. C. Hemmingsson, N. T. Son, O. Kordina, E. Janzén, and J. L. Lindström, J. Appl. Phys. 84, 704 (1998).
6. C. Hemmingsson, N. T. Son, and E. Janzén, Appl. Phys. Lett. 74, 839 (1999).
7. C. Hemmingsson, N. T. Son, O. Kordina, J. L. Lindström, and E. Janzén, Semicond. Sci. Technol. 14, 251 (1999).
8. M. Gong, S. Fung, C. D. Beling, and Z. You, J. Appl. Phys. 85, 7604 (1999).
9. T. Frank, G. Pensl, S. Bai, R. P. Devaty, and W. J. Choyke, Mater. Sci. Forum 338-342, 753 (2000).
10. A. A. Lebedev, A. I. Veinger, D. V. Davydov, V. V. Kozlovski, N. S. Savkina, and A. M. Strel'chuk, J. Appl. Phys. 88, 6265 (2000).
11. V. S. Ballandovich, Sov. Phys. Semicond. 33, 1188 (1999).
12. T. Kimoto, N. Inoue, and H. Matsunami, Phys. Status Solidi A 162, 263 (1997).
13. T. Troffer, M. Schadt, T. Frank, H. Itoh, G. Pensl, J. Heindl, H. P. Strunk, and M. Maier, Phys. Status Solidi A 162, 277 (1997).
14. N. T. Son, E. Sörman, W. M. Chen, O. Kordina, B. Monemar, and E. Janzén, Appl. Phys. Lett. 65, 2687 (1994).
15. E. Sörman, N. T. Son, W. M. Chen, O. Kordina, C. Hallin, and E. Janzén, Phys. Rev. B 61, 2613 (2000).
16. N. T. Son, E. Sorman, M. Singh, W. M. Chen, C. Hallin, O. Kordina, and E. Janzén, Diamond Relat. Mater. 6, 1378 (1997).
17. G. Pensl and W. J. Choyke, Physica B 185, 264 (1993).
18. T. Dalibor, G. Pensl, H. Matsunami, T. Kimoto, W. J. Choyke, A. Schöner, and N. Nordell, Phys. Status Solidi A 162, 199 (1997).
19. T. Kimoto, A. Itoh, and H. Matsunami, Phys. Status Solidi B 202, 247 (1997).
20. A. Zywietz, J. Furthmüller, and F. Bechstedt, Phys. Rev. B 61, 13655 (2000).
21. A. Zywietz, J. Furthmüller, and F. Bechstedt, Phys. Rev. B 59, 15166 (1999).
22. N. T. Son, O. N. Hai, M. Wagner, W. M. Chen, A. Ellison, C. Hallin, B. Monemar, and E. Janzén, Semicond. Sci. Technol. 14, 1141 (1999).
23. H. Itoh, M. Yoshikawa, L. Wei, S. Tanigawa, I. Nashiyama, S. Misawa, H. Okumura, and S. Yoshida, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 262, 331 (1992).
24. H. Itoh, M. Yoshikawa, I. Nashiyama, L. Wei, S. Tanigawa, S. Misawa, H. Okumura, and S. Yoshida, Mater. Sci. Forum 117-118, 501 (1993).
25. H. Itoh, M. Yoshikawa, I. Nashiyama, L. Wei, S. Tanigawa, S. Misawa, H. Okumura, and S. Yoshida, Hyperfine Interact. 79, 725 (1993).
26. A. I. Girka, V. A. Kuleshin, A. D. Mokrushin, E. N. Mokhov, S. V. Svirida, and A. V. Shishkin, Sov. Phys. Semicond. 23, 1337 (1989).
27. A. A. Rempel and H.-E. Schaefer, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 61, 51 (1995).
28. S. Dannefaer, D. Craigen, and D. Kerr, Phys. Rev. B 51, 1928 (1995).
29. A. Polity, S. Huth, and M. Lausmann, Phys. Rev. B 59, 10603 (1999).
30. C. C. Ling, A. H. Deng, S. Fung, and C. D. Beling, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 70, 33 (2000).
31. A. Kawasuso, H. Ito, D. Cha, and S. Okada, Mater. Sci. Forum 264-268, 611 (1998).
32. A. Kawasuso, H. Ito, S. Okada, and H. Okumura, J. Appl. Phys. 80, 5639 (1996).
33. A. Kawasuso, H. Ito, T. Ohshima, K. Abe, and S. Okada, J. Appl. Phys. 82, 3232 (1997).
34. A. Kawasuso, H. Ito, N. Morishita, M. Yoshikawa, T. Ohshima, I. Naishyama, S. Okada, H. Okumura, and S. Yoshida, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 67, 209 (1998).
35. T. Frank, M. Weidner, A. Kawasuso, H. Itoh, and G. Pensl (unpublished).
36. P. Sperr and G. Kögel, Mater. Sci. Forum 255-257, 109 (1997).
37. P. Kirkegaard, N. Pederson, and M. Eldrup, PATFIT-88, Riso-M-2704 (1989).
38. The as-grown n-type epilayer was unsuitable to determine exact bulk life-time because of the reemission effect. The reemission effect vanishes for p-type and irradiated n-type epilayers.
39. G. Brauer, W. Anward, E.-M. Nicht, J. Kuriplach, M. Sǒb, N. Wagner, P. G. Poleman, M. J. Puska, and T. Korhonen, Phys. Rev. B 54, 2512 (1996).
40. J. Gebauer, R. Krause-Rehberg, S. Eichler, and F. Böner, Appl. Surf. Sci. 149, 110 (1999).
41. J. Gebauer, S. Eichler, R. Krause-Rehberg, and H. P. Zeindl, Appl. Surf. Sci. 116, 247 (1997).
42. A. Uedono, S. Tanigawa, T. Ohshima, H. Itoh, U. Aoki, M. Yoshikawa, and I. Nashiyama, J. Appl. Phys. 86, 5392 (1999).
43. A. Uedono et al., J. Appl. Phys. 86, 5392 (1999).
44. T. Ohshima, A. Uedono, K. Abe, H. Itoh, U. Aoki, M. Yoshikawa, S. Tanigawa, and I. Nashiyama, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 67, 407 (1998).
45. R. Krause-Rehberg and H. S. Leipner, Positron Annihilation in Semiconductors, Springer Series in Solid-State Sciences, Vol. 127 (Springer, Berlin, 1998).
46. K. G. Lynn, D. O. Welch, J. Throwe, and B. Nielsen, Int. Mater. Rev. 36, 1 (1991).
47. A. van Veen, H. Schut, M. Clement, J. M. M. de Nijs, A. Kruseman, and M. R. Ijpma, Appl. Surf. Sci. 85, 216 (1995).
48. T. Staab, L. M. Torpo, M. J. Puska, and R. M. Nieminen, Mater. Sci. Forum 353-356, 533 (2001).
49. A. Kawasuso, F. Redmann, R. Krause-Rehberg, M. Yoshikawa, K. Kojima, and H. Itoh, Phys. Status Solidi B 223, R8 (2001).
50. A. L. Barry, B. Lehmann, D. Fritsch, and D. Bräung, IEEE Trans. Nucl. Sci. 30, 1111 (1991).
51. H. Itoh, A. Kawasuso, T. Ohshima, M. Toshikawa, I. Nashiyama, S. Tanigawa, S. Misawa, H. Okumura, and S. Yoshida, Phys. Status Solidi A 162, 173 (1997).
52. D. Cha, H. Itoh, N. Morishita, A. Kawasuso, T. Ohshima, Y. Watanabe, J. Ko, K. Lee, and I. Nashiyama, Mater. Sci. Forum 264-268, 615 (1998).
53. H. Itoh, N. Hayakawa, I. Nashiyama, and E. Sakuma, J. Appl. Phys. 66, 4529 (1989).
54. M. Gong, S. Fung, C. D. Beling, and Z. You, J. Appl. Phys. 85, 7120 (1999).