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Volumn 50, Issue 7, 2001, Pages 727-731

Measurement of hydrogen in BCN films by nuclear reaction analysis

Author keywords

BCN film; Hardness; Hydrogen; IBAD; RNRA

Indexed keywords

CONCENTRATION (PROCESS); ELECTRON BEAMS; HYDROGEN; ION BEAM ASSISTED DEPOSITION; NUCLEAR RADIATION SPECTROSCOPY; SILICON; SUBSTRATES;

EID: 0035387404     PISSN: 05145163     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.2472/jsms.50.727     Document Type: Article
Times cited : (1)

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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.