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Volumn 4186, Issue , 2001, Pages 22-33

Performance of JBX-9000MV with negative tone resist for 130nm reticle

Author keywords

CD accuracy; Chemically amplified negative tone resist; Foggy effect; High accelerating voltage EB; Loading effect

Indexed keywords

BACKSCATTERING; DRY ETCHING; ERROR CORRECTION;

EID: 0035046909     PISSN: 0277786X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1117/12.410702     Document Type: Conference Paper
Times cited : (8)

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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.