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Volumn 4290, Issue , 2001, Pages 136-144

Nanometer precision robot for active photonics alignment using INCHWORM motors

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NANOMETER PRECISION ROBOTS;

EID: 0034929319     PISSN: 0277786X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1117/12.426910     Document Type: Conference Paper
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.