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Volumn 62, Issue 16, 2000, Pages 11219-11224

Stress relaxation in a-Si induced by ion bombardment

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ION; SILICON;

EID: 0034667145     PISSN: 01631829     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevB.62.11219     Document Type: Article
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References (30)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.