Reactive ion etching of InP for optoelectronic device applications: Comparison in CH4, CH4/H2, and CH4/Ar gas

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 37, Issue 3, 2000, Pages 241-246

  Yu, Jae Su ^a   Lee, Yong Tak ^a  

^a Gwangju Institute of Science and Technology (GIST)   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0034337980     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (20)

1. M. A. Bosch, L. A. Coldren and E. Good, Appl. Phys. Lett. 38, 264 (1981).
2. R. J. Contolini, J. Electrochem. Soc. 135, 929 (1988).
3. M. B. Stern and P. F. Liao, J. Vac. Sci. Technol. B1, 1053 (1983).
4. R. H. Burton and B. Smolinsky, J. Electrochem. Soc. 129, 1599 (1982).
5. R. A. Burton, C. L. Hollien, L. Marchut, S. M. Abys, G. Smolinsky and R. A. Gottscho, J. Appl. Phys. 54, 6663 (1983).
6. S. J. Pearton, W. S. Hobson, F. A. Baiocchi, A. B. Emerson and K. S. Jones, J. Vac. Sci. Technol. B8, 57 (1990).
7. S. C. McNevin, J. Vac. Sci. Technol. B4, 1216 (1986).
8. T. Matsui, K. Ohtsuka, H. Sugimoto, Y. Abe and T. Ohishi, Appl. Phys. Lett. 56, 1641 (1990).
9. T. R. Hayes, M. A. Dreisbach, P. M. Thomas, W. C. Dautremont-Smith and L. A. Heimbrook, J. Vac. Sci. Technol. B7, 1130 (1989).
10. H. F. Chau, D. Pavlidis and T. Brock, J. Vac. Sci. Technol. B11, 187 (1993).
11. J. Etrillard, P. Ossart, G. Patriarche, M. Juhel, J. F. Bresse and C. Daguel, J. Vac. Sci. Technol. A15, 626 (1997).
12. S. J. Pearton, J. W. Lee, E. S. Lambers, J. R. Mileham, C. R. Abernathy, W. S. Hobson, F. Ren and R. J. Shul, J. Vac. Sci. Technol. B14, 118 (1996).
13. J. A. Diniz, J. W. Swart, K. B. Jung, J. Hong and S. J. Pearton, Solid-State Electronics 42, 1947 (1998).
14. C. Thirstrup, S. W. Pang, O. Albrektsen and J. Hanberg, J. Vac. Sci. Technol. B11, 1214 (1993).
15. Y. Feurprier, Ch. Cardinaud, B. Grolleau and G. Turban, J. Vac. Sci. Technol. A16, 1552 (1998).
16. B. T. Lee, T. R. Hayes, P. M. Thomas, R. Pawelek and P. F. Sciortino, Jr., Appl. Phys. Lett. 63, 3170 (1993).
17. J. W. McNabb, H. G. Craighead, H. Temkin and R. A. Logan, J. Vac. Sci. Technol. B9, 3535 (1991).
18. E. Andideh, Ph.D. Dissertation, University of Illinois at Urbana-Champaign, 1990.
19. J. S. Yu and Y. T. Lee, in Proceedings of the 7th Korean Conference on Semiconductors (Seoul, Korea, 317, 2000).
20. J. S. Yu, S. M. Choi and Y. T. Lee, J. Korean Phys. Soc. 36, 84 (2000).