Etching of GaAs(100) surfaces by Cl2: Quantum chemical calculations on the mechanisms

Journal of Physical Chemistry B

Volumn 104, Issue 34, 2000, Pages 8210-8216

  Jenichen, Arndt ^a,b   Engler, Cornelia ^a  

^a LEIBNIZ INSTITUTE OF SURFACE ENGINEERING IOM   (Germany)

^b UNIVERSITY OF LEIPZIG   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMICAL BONDS; CHLORINE; DESORPTION; DRY ETCHING; MATHEMATICAL MODELS; PROBABILITY DENSITY FUNCTION; QUANTUM THEORY; REACTION KINETICS;

QUANTUM CHEMICAL CALCULATIONS;

SEMICONDUCTING GALLIUM ARSENIDE;

EID: 0034246801     PISSN: 15206106     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp0007383     Document Type: Article

References (24)

1. Yu, M. L.; DeLouise, L. A. Surf. Sci. Rep. 1994, 19, 285.
2. Simpson, W. C.; Yarmoff, J. A. Anna. Rev. Phys. Chem. 1996, 47, 527.
3. Hung, W.; Wu, S.; Chang, C. J. Phys. Chem. 1998, 702, 1141.
4. Simpson, W. C.; Shuh, D. K.; Hung, W. H.; Hakansson, M. C.; Kanski, J.; Karlsson, U. O.; Yarmoff, J. A. J. Vac. Sci. Technol A 1996, 14, 1815.
5. Stietz, F.; Schaefer, J. A.; Goldmann, A. Surf. Sci. 1997, 383, 123.
6. Senga, T.; Matsumi, Y.; Kawasaki. M. J. Vac. Sci. Technol. B 1996, 14, 3230.
7. Su, C.; Xi, M.; Dai, Z.; Vemon, M. F.; Bent, B. E. Surf. Sci. 1993, 282, 357.
8. Su, C.; Hou, H.; Lee, G. H.; Dai Z.; Luo W.; Vernon, M. F.; Bent, B. E. J. Vac. Sci. Technol. B 1993, 11, 1222.
9. Balooch, M.; Olander, D. R.; Siekhaus, W. J. J. Vac. Sci. Technol. B 1986, 4, 794.
10. Ludviksson, A.; Xu, M.; Martin, R. M. Surf. Sci. 1992, 277, 282.
11. Houle, F. A. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1991, 204, 25.
12. Bond, P.; Brier, P. N.; Reicher, J.; Jia, W. J.; Price, H.; Gorry, P. A. Surf. Sci. 1998, 418, 181.
13. French, C. L.; Balch, W. S.; Foord, J. S. J. Phys. Cond. Mater. 1991, 5, 5351.
14. Redhead, P. A. Vacuum 1962, 12, 203.
15. Ohno, T. Phys. Rev. B 1991, 44, 8387.
16. Ohno, T. Surf. Sci. 1996, 357-8, 322.
17. Fukunishi, Y.; Nakatsuji, H. Surf. Sci. 1993, 297, 271.
18. Mochizuki, Y.; Takada, T.; Usui, A. Phys. Rev. B1993, 47, 13420.
19. Kunsagi-Mate, S.; Marek, N.; Marek, T.; Strunk, H. P. Surf. Sci. 1996, 365, 743.
20. Pashley, M. D. Phys. Rev. B 1989, 40, 10481.
21. Becke, A. D. J. Chem. Phys. 1993, 98, 5648.
22. Perdew, J. P. Phys. Rev. B 1986, 33, 8822.
23. Wadt, W. R.; Hay, P. J. J. Chem. Phys. 1985, 82, 284.
24. Frisch, M. J.; Trucks, G. W.; Schlegel, H. B.; Scuseria, G. E.; Robb, M. A.; Cheeseman, J. R.; Zakrzewski, V. G.; Montgomery, J. A., Jr.; Stratmann, R. E.; Burant, J. C.; Dapprich, S.; Millam, J. M.; Daniels, A. D.; Kudin, K. N.; Strain, M. C.; Farkas, O.; Tomasi, J.; Barone, V.; Cossi, M.; Cammi, R.; Mennucci, B.; Pomelli, C.; Adamo, C.; Clifford, S.; Ochterski, J.; Petersson, G. A.; Ayala, P. Y.; Cui, Q.; Morokuma, K.; Malick, D. K.; Rabuck, A. -D.; Raghavachari, K.; Foresman, J. B.; Cioslowski, J.; Ortiz, J. V.; Baboul, A. G.; Stefanov, B. B.; Liu, G.; Liashenko, A.; Piskorz, P.; Komaromi, I.; Gomperts, R.; Martin, R. L.; Fox, D. J.; Keith, T.; AlLaham, M. A.; Peng, C. Y.; Nanayakkara, A.; Gonzalez, C.; Challacombe, M.; Gill, P. M. W.; Johnson, B.; Chen, W.; Wong, M. W.; Andres, J. L.; Gonzalez, C.; Head-Gordon, M.; Replogle, E. S.; Pople, J. A. Gaussian 98, Revision A.7; Gaussian, Inc.: Pittsburgh, PA, 1998.