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Volumn 3997, Issue , 2000, Pages 867-873

EUV interferometry of a four-mirror ring-field EUV optical system

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ELECTROMAGNETIC WAVE DIFFRACTION; INTERFEROMETERS; MIRRORS; PHASE SHIFT; PROJECTION SYSTEMS; ULTRAVIOLET RADIATION; WAVEFRONTS;

EID: 0033701350     PISSN: 0277786X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: None     Document Type: Conference Paper
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.