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Volumn 25, Issue 3, 1999, Pages 191-193

Flexural vibrations of semiconductor wafers in the presence of a pulsed thermal excitation source

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EID: 0033244244     PISSN: 10637850     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1134/1.1262418     Document Type: Article
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References (10)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.