Quantum mechanical characterization of E′-type centers in a-SiOx films

Microelectronic Engineering

Volumn 48, Issue 1, 1999, Pages 109-112

  Karna, Shashi P ^a   Kurtz, Henry A ^b  

^a AIR FORCE RESEARCH LABORATORY   (United States)

^b University of Memphis   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMORPHOUS FILMS; CRYSTAL ATOMIC STRUCTURE; MATHEMATICAL MODELS; QUANTUM THEORY; SEMICONDUCTING SILICON COMPOUNDS; SILICA;

HARTREE-FOCK CALCULATION;

SEMICONDUCTING FILMS;

EID: 0033190148     PISSN: 01679317     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0167-9317(99)00349-4     Document Type: Article

References (25)

1. D. M. Fleetwood, P. S. Winokur, L. C. Riewe, and R. A. Reber, Jr., J. Appl. Phys. 84, 6141 (1998).
2. R. A. Weeks, J. Non-Cryst. Solids 179, 1 (1994).
3. D. L. Griscom, Nucl. Instr. Methods B 1, 481 (1984).
4. D. L. Griscom, E. J. Frieble and G. H. Sigel Jr., Solid State Commun. 15, 479 (1974).
5. F. J. Feigl, W. B. Fowler, and K. L. Yip, Solid State Commun. 14, 225 (1974).
6. K. C. Snyder and W. B. Fowler, Phys. Rev. B 48, 13238 (1993).
7. D. L. Griscom and E. J. Frieble, Phys. Rev. B 34, 7524 (1986).
8. R. Tohmon, Y. Shimogaichi, Y. Tsuta, S. Munekuni, Y. Ohki, Y. Hama, and K. Nagasawa, Phys. Rev. B 41, 7258 (1990).
9. K. Vanheusden and A. Stesmans, J. Appl. Phys. 74, 275 (1993).
10. L. Zhang and R. G. Leisure, J. Appl. Phys. 80, 3744 (1996).
11. J. R. Chavez, S. P. Karna, K. Vanheusden, C. P. Brothers, R. D. Pugh, B. K. Singaraju, W. Warren, and R. A. B. Devine, IEEE Trans Nucl. Sci. 44, 1799 (1997).
12. S. P. Karna, A. C. Pineda, W. M. Shedd, and B. K. Singaraju, Proc. Electrochem. Soc. (1999).
13. M. E. Zvanut, F. J. Feigl, W. B. Fowler, J. K. Rudra, P. J.Caplan, E. H. Poindexter, and J. D. Zook, Appl. Phys. Lett. 54, 2118 (1989).
14. G. Hochstraser and J. F. Antonini, Surf. Sci. 32, 644 (1972).
15. Y. Nishi, Japan. J. Appl. Phys. 5, 333 (1966).
16. E. H. Poindexter, P. J. Caplan, B. E. Deal, and R. R. Razouk, J. Appl. Phys. 52, 879 (1981).
17. P. J. Caplan, E. H. Poindexter, B. E. Deal, and R. R. Razouk, J. Appl. Phys. 50, 5847 (1979).
18. E. Holzenkämpfer, F.-W. Richter, J. Stuke, and U. Voget-Grote, J. Non-Cryst. Solids 32, 327 (1979).
19. I. P. Lisovskii, V. G. Litovchenko, V. B. Lozinskii, S. I. Frolov, H. Flietner, W. Fussel, E. G. Schmidt, J. Non-Cryst. Solids 187, 91 (1995).
20. H. Hosono and R. A. Weeks, Phys. Rev. B 40, 10543 (1989).
21. H. Hosono, H. Kawazoe, K. Oyoshi, and S. Tanaka, J. Non-Cryst. Solids 179, 39 (1994).
22. D. L. Griscom, E. J. Frieble, K. J. Long, and J. W. Fleming, Appl. Phys. Lett. 54, 3743 (1983).
23. A. Stesmans and V. V. Afanas'ev, Appl. Phys. Lett. 69, 2056 (1996).
24. A. D. Walsh, J. Chem. Soc. 2266 (1953).
25. K. L. Brower, Appl. Phys. Lett. 43, 1111 (1983).