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Volumn 3677, Issue II, 1999, Pages 700-710

Numerical modeling of the excimer beam

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ERROR ANALYSIS; EXCIMER LASERS; LASER BEAMS; LIGHT PROPAGATION; MATHEMATICAL MODELS; SPECKLE; STATISTICAL METHODS; WAVEFRONTS;

EID: 0032686714     PISSN: 0277786X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1117/12.350856     Document Type: Conference Paper
Times cited : (6)

References (17)
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.