Study of interdiffusion in thin Fe film deposited on Si(111) by X-ray reflectivity and secondary ion mass spectrometry

Journal of Applied Physics

Volumn 85, Issue 10, 1999, Pages 7135-7139

  Banerjee, S ^a   Raghavan, G ^b   Sanyal, M K ^a  

^a SAHA INSTITUTE OF NUCLEAR PHYSICS   (India)

^b INDIRA GANDHI CENTRE FOR ATOMIC RESEARCH   (India)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

APPROXIMATION THEORY; CARRIER CONCENTRATION; DEPOSITION; FOURIER TRANSFORM INFRARED SPECTROSCOPY; INTERDIFFUSION (SOLIDS); IRON; ITERATIVE METHODS; MATHEMATICAL MODELS; SECONDARY ION MASS SPECTROMETRY; SEMICONDUCTING SILICON; SUBSTRATES; THIN FILMS;

ITERATIVE INVERSION METHOD; X-RAY REFLECTIVITY;

METALLIC FILMS;

EID: 0032620937     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.370524     Document Type: Article

References (25)

1. A. H. Reader, A. H. van Ommen, P. J. W. Weijs, R. A. M. Walter, and D. J. Oostra, Rep. Prog. Phys. 56, 1397 (1992).
2. C. Calandra, O. Bisi, and G. Ottaviani, Surf. Sci. Rep. 4, 271 (1985).
3. G. W. Rubloff, Surf. Sci. 132, 268 (1983).
4. S. S. Lau, J. S. Y. Feng, J. O. Olowolafe, and M. A. Nicolet, Thin Solid Films 25, 415 (1975).
5. J. M. Gallego, J. M. Garcia, J. Alvarez, and R. Miranda, Phys. Rev. B 46, 13339 (1992).
6. J. M. Gallego and R. Miranda, J. Appl. Phys. 69, 1377 (1993).
7. N. Cherief, J. Y. Veuillen, T. A. Nguyen Tan, R. Cinti, and J. Derrien, Vacuum 41, 1350 (1990).
8. R. Klasges, C. Carbone, W. Eberhardt, C. Pampuch, O. Rader, T. Kachel, and W. Gudat, Phys. Rev. B 56, 10801 (1997).
9. J. E. Mahan, K. M. Geib, G. Y. Robinson, R. G. Long, Y. Xinghua, G. Bai, M-A. Nicolet, and M. Nathan, Appl. Phys. Lett. 56, 2126 (1990).
10. H. C. Cheng, T. R. Yew, and L. J. Chen, Appl. Phys. Lett. 47, 128 (1985); J. Appl. Phys, 57, 5246 (1985).
11. H. C. Cheng, T. R. Yew, and L. J. Chen, Appl. Phys. Lett. 47, 128 (1985); J. Appl. Phys, 57, 5246 (1985).
12. T. P. Russell, Mater. Sci. Rep. 5, 171 (1990).
13. S. Banerjee, M. K. Sanyal, A. Datta, S. Kanakaraju, and S. Mohan, Phys. Rev. B 54, 16377 (1996).
14. M. K. Sanyal, A. Dutta, A.K. Srivastava, B. M. Arora, S. Banerjee, P. Chakraborty, F. Caccavale, O. Sakata, and H. Hashizume, Appl. Surf. Sci. 133, 98 (1998).
15. M. K. Sanyal, S. K. Sinha, A. Gibaud, K. G. Huang, B.L. Carvalho, M. Rafailovich, J. Sokolov, X. Zhao, and W. Zhao, Europhys. Lett. 21, 691 (1993).
16. S. Banerjee, Y. J. Park, D. R. Lee, Y. H. Jeong, K.-B. Lee, S. B. Yoon, H. M. Choi, J. U. Oh, J. S. Roh, and M. K. Sanyal, Appl. Surf. Sci. 136, 41 (1998).
17. L. G. Parratt, Phys. Rev. 95, 359 (1954).
18. K. Sakurai and A. Iida, Adv. X-Ray Anal. 35, 813 (1992).
19. F. Bridou and B. Pardo, J. Phys. III 4, 1523 (1994).
20. M. K. Sanyal, S. Hazra, J. K. Basu, and A. Datta, Phys. Rev. B 58, 4258 (1998).
21. A. K. Doerr, M. Tolan, T. Seydel, and W. Press, Physica B 248, 263 (1998).
22. F. Bridou and B. Pardo, J. X-Ray Sci, Technol. 4, 200 (1994).
23. S. Reiss and K. H. Heinig, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 84, 229 (1994); S. Reiss, K. H Heinig, R. Weber, and W. Skorupa, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 316, 819 (1994).
24. S. Reiss and K. H. Heinig, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 84, 229 (1994); S. Reiss, K. H Heinig, R. Weber, and W. Skorupa, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 316, 819 (1994).
25. S. Mantl, J. Phys. D 31, 1 (1998).