Local coating conditions in RF-magnetron sputtering;Lokale Schichterzeugung beim HF-magnetronsputtern

Materialwissenschaft und Werkstofftechnik

Volumn 29, Issue 9, 1998, Pages 452-458

  Berg, G ^b   Friedrich, Chr ^b   Senf, J ^b   Broszeit, E ^b   Kloos, K H ^a  

^a DARMSTADT UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Germany)

^b NONE

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0032393556     PISSN: 09335137     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/mawe.19980290903     Document Type: Article

References (2)

1. Auf die Angabe einer umfangreichen Referenzliste wird an dieser Stelle, mit dem Hinweis auf die etwa 250 Literaturangaben in der angegebenen Dissertationsschrift, verzichtet.
2. G. Berg: Erzeugung lokaler Eigenschaftsprofile bei PVD-Sputterschichten für tribologische Anwendungen. Dissertation, Shaker-Verlag, Aachen (1998), ISBN 3-82-65-3878-1.