On the kinetic study of the electron velocity distribution function in the cathode region of a glow discharge

Plasma Chemistry and Plasma Processing

Volumn 18, Issue 1, 1998, Pages 113-136

  Petrov, G ^a   Winkler, R ^a  

^a Inst Niedertemperatur Plasmaphys   (Germany)

Author keywords

Cathode region; dc glow discharge; Electron Boltzmann equation; Numerical modeling

Indexed keywords

EID: 0032340619     PISSN: 02724324     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1023/A:1021745411578     Document Type: Article

References (39)

1. K. G. Emeleus, J. Phys. D 14, 2179 (1981).
2. P. Gill and C. E. Webb, J. Phys. D 10, 299 (1977).
3. D. A. Doughty, S. Salih, and J. E. Lawler, Phys. Lett. 103A, 41 (1984).
4. D. A. Doughty, E. A. Den Hartog, and J. E. Lawler, Appl. Phys. Lett. 46, 352 (1985).
5. D. A. Doughty, E. A. Den Hartog, and J. E. Lawler, Phys. Rev. Lett. 58, 2668 (1987).
6. M. Broglia, F. Catoni, A. Montone, and P. Zampetti, Phys. Rev. A 36, 705 (1987).
7. E. A. Den Hartog, D. A. Doughty, and J. E. Lawler, Phys. Rev. A 38, 2471 (1988).
8. J. E. Lawler, E. A. Den Hartog, and W. N. G. Hitchon, Phys. Rev. A 43, 4427 (1991).
9. T. C. Paulick, J. Appl. Phys. 67, 2774 (1990).
10. J. V. DiCarlo and M. J. Kushner, J. Appl. Phys. 66, 5763 (1989).
11. T. J. Sommerer, W. N. G. Hitchon, and J. E. Lawler, Phys. Rev. A 39, 6356 (1989).
12. N. A. Tran, E. Marode, and P. C. Johnson, J. Phys. D 10, 2317 (1977).
13. J. P. Boeuf and E. Marode, J. Phys. D 15, 2169 (1982).
14. M. Ohuchi and T. Kubota, J. Phys. D 16, 1705 (1983).
15. N. Sato and H. Tagashira, J. Phys. D 18, 2451 (1985).
16. T. J. Moratz, L. C. Pitchford, and J. N. Bardsley, J. Appl. Phys. 61, 2146 (1987).
17. T. J. Moratz, J. Appl. Phys. 63, 2558 (1988).
18. M. Surendra, D. B. Graves, and G. M. Gellum, Phys. Rev. A 41, 1112 (1990).
19. A. Fiala, L. C. Pitchford, and J. P. Boeuf, Phys. Rev. E 49, 5607 (1994).
20. J. P. Boeuf, J. Appl. Phys. 63, 1342 (1988).
21. M. Dalvie, R. T. Farouki, S. Hamaguchi, and M. Surrendra, J. Appl. Phys. 72, 2620 (1992).
22. A. L. Ward, J. Appl. Phys. 33, 2789 (1962).
23. P. Bayle, J. Vacquie and M. Bayle, Phys. Rev. A 34, 360 (1988).
24. S. Hashiguchi and M. Hasikuni, Jpn. J. Appl. Phys. 26, 271 (1987).
25. S. Hashiguchi and M. Hasikuni, Jpn. J. Appl. Phys. 28, 699 (1989).
26. K. H. Schoenbach, H. Chen, and G. Schaefer, J. Appl. Phys. 67, 154 (1990).
27. V. I. Kolobov and L. D. Tsendin, Phys. Rev. A 46, 7837 (1992).
28. V. P. Nagorny, P. J. Drallos, and W. Williamson, Phys. Scr. T53, 79 (1994).
29. R. J. Carman and A. Maitland, J. Phys. D 20, 1021 (1987).
30. G. Petrov and R. Winkler, J. Phys. D: Appl. Phys. 30, 53 (1997).
31. G. Petrov and R. Winkler, ESCAMPIG 96 Europhysics Conference Abstract 20E, Part A, 87 (1996).
32. S. Shankar and K. F. Jensen IEEE Trans. Plasma Sci. 23, 780 (1995).
33. H. D. Hagstrum, Phys. Rev. 104, 672 (1956).
34. R. J. Carman, J. Phys. D 25, 198 (1992).
35. R. K. Nesbet, Phys. Rev. A 20, 58 (1979).
36. W. C. Fon, K. A. Berrington, and A. Hubert, J. Phys. B 14, 307 (1981).
37. N. J. Mason and W. R. Newell, J. Phys. B 20, 1357 (1987).
38. K. A. Berrington, P. G. Burke, L. C. G. Freitas, and A. E. Kingston, J. Phys. B 18, 4135 (1985).
39. R. C. Wetzel, F. A. Baiocchi, T. R. Hayes, and R. S. Freund, Phys. Rev. A 35, 559 (1987).