메뉴 건너뛰기





Volumn 3514, Issue , 1998, Pages 82-89

Vacuum maintenance in hermetically sealed MEMs packages

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DEGASSING; ELECTRONICS PACKAGING; GETTERS; SINTERING; SORPTION; THICK FILMS; VACUUM;

EID: 0032304947     PISSN: 0277786X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: None     Document Type: Conference Paper
Times cited : (8)

References (6)
  • Reference 정보가 존재하지 않습니다.

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.