Determinación del mecanismo de oxigenación del CdTe obtenido por rf sputtering reactivo con magnetrón en un plasma de Ar-N2O

Revista Mexicana de Fisica

Volumn 44, Issue SUPPL. 3, 1998, Pages 268-272

  Caballero Briones, F ^a   Zapata Navarro, A ^b   Bartolo Perez P ^a   Castro Rodriguez R ^a   Zapata Torres, M ^b   Cauich, W ^a   Pena J L ^a,b  

^a DEPARTAMENTO DE FÍSICA APLICADA   (Mexico)

^b INSTITUTO POLITÉCNICO NACIONAL   (Mexico)

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CdTe:O; N2O; Reaction mechanism; rf sputtering

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EID: 0032263788     PISSN: 0035001X     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

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