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Volumn 505, Issue , 1998, Pages 623-628

Determination of the mechanical properties of polysilicon thin films using bulge testing

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DEPOSITION; ELASTICITY; MICROMACHINING; POLYCRYSTALLINE MATERIALS; SILICON;

EID: 0031642124     PISSN: 02729172     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: None     Document Type: Conference Paper
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.