Mechanisms of SiO2 Etching: Ab initio calculations on the reactions of CFm- (m = 3-1) and NFn- (n = 2, 1) ions with local surface models

Journal of Physical Chemistry B

Volumn 101, Issue 27, 1997, Pages 5377-5381

  Jenichen, Arndt ^a  

^a UNIVERSITY OF LEIPZIG   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ADSORPTION; CHEMICAL BONDS; CHEMISORPTION; COMPUTATIONAL METHODS; DESORPTION; ETCHING; IONS; MATHEMATICAL MODELS; MOLECULAR STRUCTURE; THERMAL EFFECTS;

MOLECULAR SURFACE MODELS;

SILICA;

EID: 0031551216     PISSN: 15206106     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp970450m     Document Type: Article

References (36)

1. Flamm, D. L.; Donnelly, V. M. Plasma Chem. Plasma Proc. 1981, 1, 317.
2. VanRoosmalen, A. J. Vacuum 1984, 34, 429.
3. Greenberg, K. E.; Verdeyen, J. T. J. Appl. Phys. 1985, 57, 1596.
4. Ianno, N. J.; Greenberg, K. E.; Verdeyen, J. T. J. Electrochem. Soc. 1981, 128, 2174.
5. Jenichen, A.; Johansen, H. Surf. Sci. 1988, 203, 143.
6. Jenichen, A. Surf. Sci. 1995, 331, 1503.
7. Brannon, J. H. Appl. Phys. A 1988, 46, 39.
8. Tachibana, A.; Kurosaki, Y.; Kawauchi, S.; Yambe, T. J. Phys. Chem. 1991, 95, 1716.
9. Tachibana; A.; Kawauchi, S.; Yambe, T. J. Phys. Chem. 1991, 95, 2471.
10. Kawauchi, S.; Tachibana, A.; Yambe, T. J. Phys. Chem. 1991, 95, 6303.
11. Jenichen, A. Int. J. Quantum Chem. 1994, 52, 117.
12. Jenichen, A. J. Phys. Chem. 1996, 100, 9820.
13. Tandura, S. N.; Voronkov, M. G.; Alekseev, N. V. Topics in Current Chemistry; Boschke, F. L., Ed.; Springer: Berlin, 1986; Vol. 131. Chapter 3, pp 99-189.
14. Damrauer, R.; Burggraf, L. W.; Davis, L. P.; Gordon, M. S. J. Am. Chem. Soc. 1988, 110, 6601.
15. Holmes, R. R. Chem. Rev. 1990, 90, 17.
16. Chuit, C.; Corriu, J. P.; Reye, C.; Young, J. C. Chem. Rev. 1993, 93, 1371.
17. Gutsev, G. L. Chem. Phys. 1992, 166, 57.
18. Windus, T. L.; Gordon, M. S.; Davis, L. P.; Burggraf, L. W. J. Am. Chem. Soc. 1994, 116, 3568.
19. Damrauer, R.; Hankin, J. A. Chem. Rev. 1995, 95, 1137.
20. Sinclair, W.; Ringwood, A. E. Nature 1978, 272, 714.
21. Dupree, R.; Holland, D.; Mortuza, M. G. Nature 1987, 328, 416.
22. Sauer, J. Chem. Rev. 1989, 89, 199.
23. Levien, L.; Prewitt, C. T.; Weidner, D. J. Am. Mineral. 1980, 65, 920.
24. Nicholas, J. B.; Winans, R. E.; Harrison, R. J.; Iton, L. E.; Curtiss, L. A.; Hopfinger, J. A. J. Phys. Chem. 1992, 96, 7958.
25. Csonka, G. I.; Erdösy, M.; Réffy, J. J. Comput. Chem. 1994, 15, 925.
26. Frisch, M. J.; Trucks, G. W.; Head-Gordon, M.; Gill, P. M. W.; Wong, M. W.; Foresman, J. B.; Johnson, B. G.; Schlegel, H. B.; Robb, M. A.; Replogle, E. S.; Gomperts, R.; Andres, J. L.; Raghavachari, K.; Binkley, J. S.; Gonzalez, C.; Martin, R. L.; Fox, D. J.; Defrees, D. J.; Baker, J.; Stewart, J. J. P.; Pople, J. A. GAUSSIAN 92; Gaussian, Inc.: Pittsburgh, PA, 1992.
27. Pietro, W. J.; Francl, M. M.; Hehre, W. J.; DeFrees, D. J.; Pople, J. A.; Binkley, J. S. J. Am. Chem. Soc. 1982, 104, 5039.
28. Hehre, W. J.; Ditchfield, R.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1972, 56, 2257.
29. Hariharan, P. C.; Pople, J. A. Theor. Chim. Acta 1973, 28, 213.
30. Francl, M. M.; Pietro, W. J.; Hehre, W. J.; Binkley, J. S.; Gordon, M. S.; DeFrees D. J.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1982, 77, 3654.
31. Clark, T.; Chandrasekhar, J.; Spitznagel, G. W.; Schleyer, P. v. R. J. Comput. Chem. 1983, 4, 294.
32. Pulay, P. Modern Theoretical Chemistry; Schaefer, H. F., III. Ed.; Plenum: New York, 1977; Vol. 4, Chapter 4.
33. Pople, J. A.; Krishnan, R.; Schlegel, H. B.; Binkley, J. S. Int. J. Quantum Chem. Symp. 1979, 13, 225.
34. Pople, J. A.; Schlegel, M. B.; Krishnan, R.; DeFrees, D. J.; Binkley, J. S.; Frisch M. J.; Whiteside, R. A. Int. J. Quantum Chem. Symp. 1981, 15, 269.
35. Møller, C.; Plesset, M. S. Phys. Rev. 1934, 46, 618.
36. vanVeldhuizen, E. M.; Bisschops, T.; vanVliembergen, E. J. W.; vanWolput, J. H. M. C. J. Vac. Sci. Technol. A 1985, 3, 2205.