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Volumn 3096, Issue , 1997, Pages 260-268

Analysis of x-ray mask distortion

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ETCHING; MEMBRANES; SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE; SILICON CARBIDE; SILICON NITRIDE; TANTALUM; X RAY LITHOGRAPHY;

EID: 0031368732     PISSN: 0277786X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1117/12.277274     Document Type: Conference Paper
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References (10)
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.