Laser beam removal of micro-structures with Nd:YAG-lasers

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

Volumn 3097, Issue , 1997, Pages 267-273

  Hellrung, D ^a   Gillner, A ^a   Poprawe, R ^a  

^a FRAUNHOFER INSTITUTE FOR LASER TECHNOLOGY   (Germany)

Author keywords

Hard metal; Laser; Micro structure; Micro technology; Tools

Indexed keywords

CERAMIC MATERIALS; COMPUTER AIDED DESIGN; COMPUTER AIDED MANUFACTURING; MICROSTRUCTURE; NEODYMIUM LASERS;

HARD METALS; LASER BEAM REMOVAL; MICRO-EMBROSSING;

LASER BEAM EFFECTS;

EID: 0031300614     PISSN: 0277786X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: None     Document Type: Conference Paper

References (3)

1. Präzisionsstrukturierung von aluminium, stahl trod hartmetallen mit excimer- und Nd:YAG-lasern - Ein verfahren zur herstellung metallischer mikrobauteile
2. Herstellung definierter oberflächen dutch kombination von hon- und laser-technologie
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