Elektrolytische abscheidung von gold in der mikrotechnik

Galvanotechnik

Volumn 88, Issue 9, 1997, Pages 2906-2912

  Kupper M ^a   Baltrunas, G ^a   Lowe H ^a  

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CRYSTAL DEFECTS; CYCLIC VOLTAMMETRY; ELECTROLYTES; GOLD; MICROSTRUCTURE; RESIDUAL STRESSES;

BATH CONTENTS; MICROENGINEERING; SULFITE ELECTROLYTES;

ELECTRODEPOSITION;

EID: 0031232011     PISSN: 00164232     EISSN: None     Source Type: Trade Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (12)

1. Ehrfeld, W.: Dreidimensionale Mikrostrukturprodukte aus Metallen, Kunststoffen und keramischen Materialien; XIV. Int. Kolloquium Feinwerktechnik, 21, -23. 9. 1992
2. Maner, A.; Ehrfeld, W.; Schwarz, R.; Galvanotechnik 79 (1988) 1101
3. Windischmann, H.; Epps, G.F.: Free standing diamond membranes-Optical, morphological and mechanical properties; Diamond and related materials 1(1992) 656
4. Stark, W.; Bacher, W.; Galvanotechnik 83 (1992) 2946
5. Münchmeyer, D.; Ehrfeld, W.; Maner, A.; Schelb, W.; KfK-Nachrichten 14 (1987) 180
6. Chu, W.; Smith, H. L.; Schattenburg, M. L.; Proc. Intern. Microcircuit Engin., Rom 1991
7. Ogawa, T.; J. Vac. Sci. Technol. B10 (1992) 1193
8. Holborn, L. G.; Jacobson, B. E.; Plating and Surface Finishing 9 (1987) 74
9. Shih-Liang Chiu; Acosta, R. E.; J. Vac. Sci. Technol. B8 (1990) 1589
10. Bacher, W.; Bley, P.; Hein, H.; Klein, U.; Mohr, J.; Schomburg, W. K.; Schwarz, R.; Stark, W.; KfK Nachr. 23 (1991) 76
11. Gemmier, A.; Keller, W.; Richter, H.; Ruaß, K.; Metalloberfläche, 47 (1993) 461
12. Küpper, M.; Baltrunas, G.; Löwe, H.; Electrochim. Acta. zur Veroffertilchung eingereicht