Self-assembled monolayers exposed by metastable argon and metastable helium for neutral atom lithography and atomic beam imaging

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 15, Issue 5, 1997, Pages 1805-1810

  Bard, A ^a   Berggren, K K ^b   Wilbur, J L ^c   Gillaspy, J D ^a   Rolston, S L ^a   McClelland, J J ^a   Phillips, W D ^a   Prentiss, M ^c   Whitesides, G M ^c  

^a NATIONAL INSTITUTE OF STANDARDS AND TECHNOLOGY   (United States)

^b HARVARD UNIVERSITY   (United States)

^c HARVARD UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ARGON; ATOMIC FORCE MICROSCOPY; ATOMS; ELECTRONS; ETCHING; GOLD; HELIUM; LASER APPLICATIONS; LITHOGRAPHY; MASKS; MICROSTRUCTURE; SILICON WAFERS;

ATOMIC BEAM IMAGING; METASTABLE ARGON; METASTABLE HELIUM; NEUTRAL ATOM LITHOGRAPHY; SELF ASSEMBLED MONOLAYER;

MONOLAYERS;

EID: 0031219725     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.589529     Document Type: Article

References (20)

1. K. K. Berggren, A. Bard, J. L. Wilbur, J. D. Gillaspy, A. G. Helg, J. J. McClelland, S. L. Rolston, W. D. Phillips, M. Prentiss, and G. M. Whitesides, Science 269, 1255 (1995).
2. G. L. Timp, R. L. Behrenger, D. M. Tennant, J. E. Cunningham, M. Prentiss, and K. K. Berggren, Phys. Rev. Lett. 69, 1636 (1992); J. J. McClelland, R. E. Scholten, E. C. Palm, and R. J. Celotta, Science 262, 877 (1993); K. K. Berggren, M. Prentiss, G. Timp, and R. E. Behringer, J. Opt. Soc. Am. B 11, 1166 (1994).
3. G. L. Timp, R. L. Behrenger, D. M. Tennant, J. E. Cunningham, M. Prentiss, and K. K. Berggren, Phys. Rev. Lett. 69, 1636 (1992); J. J. McClelland, R. E. Scholten, E. C. Palm, and R. J. Celotta, Science 262, 877 (1993); K. K. Berggren, M. Prentiss, G. Timp, and R. E. Behringer, J. Opt. Soc. Am. B 11, 1166 (1994).
4. G. L. Timp, R. L. Behrenger, D. M. Tennant, J. E. Cunningham, M. Prentiss, and K. K. Berggren, Phys. Rev. Lett. 69, 1636 (1992); J. J. McClelland, R. E. Scholten, E. C. Palm, and R. J. Celotta, Science 262, 877 (1993); K. K. Berggren, M. Prentiss, G. Timp, and R. E. Behringer, J. Opt. Soc. Am. B 11, 1166 (1994).
5. A. P. Chu, K. K. Berggren, K. S. Johnson, and M. G. Prentiss (in press).
6. M. J. Lercel, G. F. Redinbo, F. D. Pardo, M. Rooks, R. C. Tiberio, P. Simpson, H. G. Craighead, C. W. Sheen, A. N. Parikh, and D. L. Allara, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3663 (1994).
7. J. M. Calvert, T. S. Koloski, W. J. Dressick, C. S. Dulcey, M. C. Peckerar, F. Cerrina, J. W. Taylor, D. Suh, O. R. Wood II, A. A. MacDowell, and R. D'Souza, Opt. Eng. (Bellingham) 32, 2437 (1993).
8. C. S. Dulcey, T. S. Koloski, W. I. Dresick, M. S. Chen, J. H. Georger, and J. M. Calvert, Proc. SPIE 1925, 657 (1993).
9. E. T. Ada, L. Hanley, S. Etchin, J. Melngailis, W. J. Dressick, M.-S. Chen, and J. M. Calvert, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2189 (1995).
10. D. R. Baer, M. H. Engelhardt, D. W. Shulte, D. E. Guenther, and Li-Q. Wang, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 2478 (1994).
11. F. K. Perkins, E. A. Dobisz, S. L. Brandow, T. S. Koloski, I. M. Calvert, K. W. Rhee, J. E. Kosakowski, and C. R. K. Marrian, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3725 (1994).
12. 4 Pirahna solution is extremely caustic. Use only with extreme caution.
13. D. W. Fahey, W. F. Parks, and L. D. Schearer, J. Phys. E 13, 381 (1980).
14. The uncertainty limits here and throughout this article are one combined standard uncertainty unless otherwise stated.
15. F. B. Dunning, R. D. Rundel, and R. F. Stebbings, Rev. Sci. Instrum. 46, 697 (1975).
16. S. Schohl, D. Klar, T. Kraft, H. A. I. Meijer, M.-W. Ruf, U. Schmitz, S. J. Smith, and H. Hotop, Z. Phys. D 21, 25 (1991); S. Schohl, H. A. J. Meijer, M. W. Ruf, and H. Hotop, Meas. Sci. Technol. 3, 544 (1992).
17. S. Schohl, D. Klar, T. Kraft, H. A. I. Meijer, M.-W. Ruf, U. Schmitz, S. J. Smith, and H. Hotop, Z. Phys. D 21, 25 (1991); S. Schohl, H. A. J. Meijer, M. W. Ruf, and H. Hotop, Meas. Sci. Technol. 3, 544 (1992).
18. Craig J. Sansonetti (unpublished results).
19. W. L. Borst, Rev. Sci. Instrum. 42, 1543 (1971).
20. American Institute of Physics Handbook 3rd ed., edited by D. E. Gray (McGraw-Hill, New York, 1972).