Positive-negative inversion of silicon based resist materials: Poly(di-n-hexylsilane) for ion beam irradiation

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers

Volumn 36, Issue 8, 1997, Pages 5361-5364

  Seki, Shu ^a   Kanzaki, Kenichi ^a   Yoshida, Yoichi ^a   Tagawa, Seiichi ^a   Shibata, Hiromi ^b   Asai, Keisuke ^b   Ishigure, Kenkichi ^b  

^a OSAKA UNIVERSITY   (Japan)

^b UNIVERSITY OF TOKYO   (Japan)

Author keywords

Gel; Ion beam; Negative resist; PDHS; Polysilane; Positive resist; Sol

Indexed keywords

POLYHEXYLSILANES; POSITIVE NEGATIVE INVERSION;

CROSSLINKING; EMISSION SPECTROSCOPY; ION BEAMS; ION BOMBARDMENT; PHOTORESISTS; SOL-GELS; SOLUBILITY; THERMAL EFFECTS; ULTRAVIOLET RADIATION;

POLYSILANES;

EID: 0031212856     PISSN: 00214922     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1143/jjap.36.5361     Document Type: Article

References (35)

1. R. D. Miller and J. Michl: Chem. Rev. 89 (1989)1359.
2. P. Trefonas III, J. R. Damewood and R. West: Organometallics 4 (1985) 1318.
3. L. A. Harrah and J. M. Zeigler: J. Polym. Sci., Polym. Lett. Ed. 23 (1985) 209.
4. F. C. Schilling, F. A. Bovey, D. D. Davis, A. J. Lovinger, R. B. Macgregor, C. A. Walsh and J. M. Zeigler: Macromolecules 22 (1989) 4645.
5. R. D. Miller, U. Hofer and J. Rabolt: J. Am. Chem. Soc. 107 (1985) 2172.1
6. F. Kajar, J. Messir and C. Rosillio: J. Appl. Phys. 60 (1986) 3040.
7. J. Rabolt, R. Sooriyakumaran, J. D. Swalen and R. J. Tweieg: Appl. Phys. Lett. 53 (1988) 1147.
8. L.Yang, Q. Z. Wang, P. P. Ho, R. Dorsinville and R. R. Alfano: Appl. Phys. Lett. 53 (1988) 1245.
9. R. G. Kepler, J. M. Zeigler, L. A. Harrah and S. R. Kurtz: Phys. Rev. B 35 (1987) 2818.
10. M. Fujino: Chem. Phys. Lett. 136 (1987) 451.
11. M. Stolka, H. J. Yuh, K. McGraneand and D. M. Pai: J. Polym. Sci., Polym. Chem. Ed. 25 (1987) 823.
12. M. A. Abkowitz, M. J. Rice and M. Stolka: Phil. Mag. B 61 (1990) 25.
13. M. J. Bowden: ACS Symposium Series (American Chemical Society, Washington DC, 1984) Vol. 266, p. 39.
14. G. N. Taylor, W. W. Wolf and J. M. Moran: J. Vac. Sci. Technol. 19 (1981) 872.
15. P. Trefonas, R. West, R. D. Miller and D. Hofer: J. Polym. Sci., Polym. Lett. Ed. 21 (1983) 823.
16. J. M. Zeigler, L. A. Harrah and A. W. Johnson: Proc. SPIE 539 (1985) 166.
17. D. C. Hofer, R. D. Miller and C. G. Willson: Proc. SPIE 469 (1984) 16.
18. R. D. Miller: Advanced in Chemistry Series (American Chemical Society, Washington DC, 1990) Vol. 224, p. 413.
19. T. J. Lenk, R. L. Siemens, V. M. Hallmark, R. D. Miller and J. F. Rabolt: Macromolecules 24 (1991) 1217.
20. F. C. Schilling, A. J. Lovinger, J. M. Zeigler, D. D. Davis and F. A. Bovey: Macromolecules 22 (1989) 3055.
21. R. D. Miller, J. F. Rabolt, R. Sooriyakumaren, G. N. Fickes, W. Fleming, B. L. Farmer and H. Kuzmany: ACS Symposium Series (American Chemical Society, Washington DC, 1988) Vol. 360, p. 43.
22. G. N. Taylor, M. Y. Hellman, T. Wolf and J. M. Zeigler: Proc. SPIE 920 (1988) 274.
23. S. Seki, H. Shibata, H. Ban, K. Ishigure and S. Tagawa: Radiat. Phys. Chem. 48 (1996) 539.
24. S. Seki, H. Shibata, Y. Yoshida, K. Ishigure and S. Tagawa: Radiat. Phys. Chem. 49 (1997) 389.
25. T. Venkatesan, T. Wolf, D. Allara, B. J. Wilkens and G. N. Taylor: Appl. Phys. Lett. 43 (1983) 934.
26. S. Seki, S. Tagawa, K. Ishigure, K. R. Cromack and A. D. Trifunac: Radiat. Phys. Chem. 47 (1996) 217.
27. H. Kuzumany, J. F. Rabolt, B. L. Farmer, R. D. Miller: J. Chem. Phys. 85 (1986) 7413.
28. B. M. Klemann, R. West and J. A. Koutsky: Macromolecules 29 (1996) 198.
29. R. West: J. Organomet. Chem. 300 (1986) 327.
30. N. Kouchi, S. Tagawa, H. Kobayashi and Y. Tabata: Radiat. Phys. Chem. 34 (1989) 453.
31. L. C. Northcliffe and R. F. Schilling: Nucl. Data Tables A 7 (1970) 233.
32. S. Seki, K. Kanzaki, S. Tagawa, Y. Yoshida, H. Kudoh, M. Sugimoto, T. Sasuga and T. Seguchi: to be published in Radiat. Phys. Chem.
33. E. K. KariKari, B. L. Farmer, R. D. Miller and J. F. Rabolt: Macromolecules 26 (1993) 3937.
34. B. M. Klemann, R. West and J. A. Koutsky: Macromolecules 29 (1996) 198.
35. K. Furukawa, M. Fujino and N. Matsumoto: Macromolecules 23 (1990) 3423.