A new comparator for measurement of diameter and form of cylinders, spheres and cubes under clean-room conditions

Measurement Science and Technology

Volumn 8, Issue 8, 1997, Pages 849-856

  Neugebauer, M ^a   Ludicke F ^a   Bastam, D ^a   Bosse, H ^a   Reimann, H ^a   Topperwien C ^a  

^a PHYSIKALISCH TECHNISCHE BUNDESANSTALT   (Germany)

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CALIBRATION; CYLINDERS (SHAPES); PROBES; SPATIAL VARIABLES MEASUREMENT; SPHERES; STANDARDS;

CONTACT PROBE TECHNIQUE; DIAMETER MEASUREMENT; FORM MEASUREMENT;

COMPARATORS (OPTICAL);

EID: 0031208265     PISSN: 09570233     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1088/0957-0233/8/8/003     Document Type: Article

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