First Liquid Precursors for the CVD of Palladium Films

Chemical Vapor Deposition

Volumn 3, Issue 2, 1997, Pages 81-83

  Zhang, Yiping ^a   Puddephatt, Richard J ^a  

^a UNIVERSITY OF WESTERN ONTARIO   (Canada)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; MOLECULAR STRUCTURE; THIN FILMS;

LIQUID PRECURSORS;

PALLADIUM;

EID: 0031096235     PISSN: 09481907     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/cvde.19970030205     Document Type: Article

References (16)

1. P. D. Gurney, R. J. Seymour, in Chemistry of the Platinum Group Metals (Ed: F. R. Hartley), Elsevier, Amsterdam 1991, Ch. 17, p. 594. R. Gliem, G. Schlamp, Metal. Tech. 1987, 41, 34. L. Sordelli, G. Martra, R. Psaro, C. Dossi, S. Coluccia, J. Chem. Soc., Dalton Trans. 1996, 765. J. T. Spencer, Prog. Inorg. Chem. 1994, 41, 145.
2. P. D. Gurney, R. J. Seymour, in Chemistry of the Platinum Group Metals (Ed: F. R. Hartley), Elsevier, Amsterdam 1991, Ch. 17, p. 594. R. Gliem, G. Schlamp, Metal. Tech. 1987, 41, 34. L. Sordelli, G. Martra, R. Psaro, C. Dossi, S. Coluccia, J. Chem. Soc., Dalton Trans. 1996, 765. J. T. Spencer, Prog. Inorg. Chem. 1994, 41, 145.
3. P. D. Gurney, R. J. Seymour, in Chemistry of the Platinum Group Metals (Ed: F. R. Hartley), Elsevier, Amsterdam 1991, Ch. 17, p. 594. R. Gliem, G. Schlamp, Metal. Tech. 1987, 41, 34. L. Sordelli, G. Martra, R. Psaro, C. Dossi, S. Coluccia, J. Chem. Soc., Dalton Trans. 1996, 765. J. T. Spencer, Prog. Inorg. Chem. 1994, 41, 145.
4. P. D. Gurney, R. J. Seymour, in Chemistry of the Platinum Group Metals (Ed: F. R. Hartley), Elsevier, Amsterdam 1991, Ch. 17, p. 594. R. Gliem, G. Schlamp, Metal. Tech. 1987, 41, 34. L. Sordelli, G. Martra, R. Psaro, C. Dossi, S. Coluccia, J. Chem. Soc., Dalton Trans. 1996, 765. J. T. Spencer, Prog. Inorg. Chem. 1994, 41, 145.
5. J. E. Gozum, D. M. Pollina, J. A. Jensen, G. S. Girolami, J. Am. Chem. Soc. 1988, 110, 2688. R. R. Thomas, J. M. Park, J. Electrochem. Soc. 1989, 136, 1661. Y. G. Kim, S. Bialy, G. T. Stauf, R. W. Miller, J. T. Spencer, P. A. Dowben, S. Datta, J. Micromech. Microeng. 1991, 1, 42. E. Feurer, H. Suhr, Thin Solid Films 1988, 157, 81. T. Kudo, A. Yamaguchi, Jpn. Patent JP 62207868, 1987. R. J. Puddephatt, Polyhedron, 1994, 13, 1233. I. K. Igumenov, J. Phys. IV 1995, C5, 489. M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, Chem. Vap. Dep. 1995, 1, 8. Z. Yuan, D. Jiang, S. J. Naftel, T.-K. Sham, R. J. Puddephatt, Chem. Mater. 1994, 6, 2151.
6. J. E. Gozum, D. M. Pollina, J. A. Jensen, G. S. Girolami, J. Am. Chem. Soc. 1988, 110, 2688. R. R. Thomas, J. M. Park, J. Electrochem. Soc. 1989, 136, 1661. Y. G. Kim, S. Bialy, G. T. Stauf, R. W. Miller, J. T. Spencer, P. A. Dowben, S. Datta, J. Micromech. Microeng. 1991, 1, 42. E. Feurer, H. Suhr, Thin Solid Films 1988, 157, 81. T. Kudo, A. Yamaguchi, Jpn. Patent JP 62207868, 1987. R. J. Puddephatt, Polyhedron, 1994, 13, 1233. I. K. Igumenov, J. Phys. IV 1995, C5, 489. M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, Chem. Vap. Dep. 1995, 1, 8. Z. Yuan, D. Jiang, S. J. Naftel, T.-K. Sham, R. J. Puddephatt, Chem. Mater. 1994, 6, 2151.
7. J. E. Gozum, D. M. Pollina, J. A. Jensen, G. S. Girolami, J. Am. Chem. Soc. 1988, 110, 2688. R. R. Thomas, J. M. Park, J. Electrochem. Soc. 1989, 136, 1661. Y. G. Kim, S. Bialy, G. T. Stauf, R. W. Miller, J. T. Spencer, P. A. Dowben, S. Datta, J. Micromech. Microeng. 1991, 1, 42. E. Feurer, H. Suhr, Thin Solid Films 1988, 157, 81. T. Kudo, A. Yamaguchi, Jpn. Patent JP 62207868, 1987. R. J. Puddephatt, Polyhedron, 1994, 13, 1233. I. K. Igumenov, J. Phys. IV 1995, C5, 489. M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, Chem. Vap. Dep. 1995, 1, 8. Z. Yuan, D. Jiang, S. J. Naftel, T.-K. Sham, R. J. Puddephatt, Chem. Mater. 1994, 6, 2151.
8. J. E. Gozum, D. M. Pollina, J. A. Jensen, G. S. Girolami, J. Am. Chem. Soc. 1988, 110, 2688. R. R. Thomas, J. M. Park, J. Electrochem. Soc. 1989, 136, 1661. Y. G. Kim, S. Bialy, G. T. Stauf, R. W. Miller, J. T. Spencer, P. A. Dowben, S. Datta, J. Micromech. Microeng. 1991, 1, 42. E. Feurer, H. Suhr, Thin Solid Films 1988, 157, 81. T. Kudo, A. Yamaguchi, Jpn. Patent JP 62207868, 1987. R. J. Puddephatt, Polyhedron, 1994, 13, 1233. I. K. Igumenov, J. Phys. IV 1995, C5, 489. M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, Chem. Vap. Dep. 1995, 1, 8. Z. Yuan, D. Jiang, S. J. Naftel, T.-K. Sham, R. J. Puddephatt, Chem. Mater. 1994, 6, 2151.
9. J. E. Gozum, D. M. Pollina, J. A. Jensen, G. S. Girolami, J. Am. Chem. Soc. 1988, 110, 2688. R. R. Thomas, J. M. Park, J. Electrochem. Soc. 1989, 136, 1661. Y. G. Kim, S. Bialy, G. T. Stauf, R. W. Miller, J. T. Spencer, P. A. Dowben, S. Datta, J. Micromech. Microeng. 1991, 1, 42. E. Feurer, H. Suhr, Thin Solid Films 1988, 157, 81. T. Kudo, A. Yamaguchi, Jpn. Patent JP 62207868, 1987. R. J. Puddephatt, Polyhedron, 1994, 13, 1233. I. K. Igumenov, J. Phys. IV 1995, C5, 489. M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, Chem. Vap. Dep. 1995, 1, 8. Z. Yuan, D. Jiang, S. J. Naftel, T.-K. Sham, R. J. Puddephatt, Chem. Mater. 1994, 6, 2151.
10. J. E. Gozum, D. M. Pollina, J. A. Jensen, G. S. Girolami, J. Am. Chem. Soc. 1988, 110, 2688. R. R. Thomas, J. M. Park, J. Electrochem. Soc. 1989, 136, 1661. Y. G. Kim, S. Bialy, G. T. Stauf, R. W. Miller, J. T. Spencer, P. A. Dowben, S. Datta, J. Micromech. Microeng. 1991, 1, 42. E. Feurer, H. Suhr, Thin Solid Films 1988, 157, 81. T. Kudo, A. Yamaguchi, Jpn. Patent JP 62207868, 1987. R. J. Puddephatt, Polyhedron, 1994, 13, 1233. I. K. Igumenov, J. Phys. IV 1995, C5, 489. M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, Chem. Vap. Dep. 1995, 1, 8. Z. Yuan, D. Jiang, S. J. Naftel, T.-K. Sham, R. J. Puddephatt, Chem. Mater. 1994, 6, 2151.
11. J. E. Gozum, D. M. Pollina, J. A. Jensen, G. S. Girolami, J. Am. Chem. Soc. 1988, 110, 2688. R. R. Thomas, J. M. Park, J. Electrochem. Soc. 1989, 136, 1661. Y. G. Kim, S. Bialy, G. T. Stauf, R. W. Miller, J. T. Spencer, P. A. Dowben, S. Datta, J. Micromech. Microeng. 1991, 1, 42. E. Feurer, H. Suhr, Thin Solid Films 1988, 157, 81. T. Kudo, A. Yamaguchi, Jpn. Patent JP 62207868, 1987. R. J. Puddephatt, Polyhedron, 1994, 13, 1233. I. K. Igumenov, J. Phys. IV 1995, C5, 489. M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, Chem. Vap. Dep. 1995, 1, 8. Z. Yuan, D. Jiang, S. J. Naftel, T.-K. Sham, R. J. Puddephatt, Chem. Mater. 1994, 6, 2151.
12. J. E. Gozum, D. M. Pollina, J. A. Jensen, G. S. Girolami, J. Am. Chem. Soc. 1988, 110, 2688. R. R. Thomas, J. M. Park, J. Electrochem. Soc. 1989, 136, 1661. Y. G. Kim, S. Bialy, G. T. Stauf, R. W. Miller, J. T. Spencer, P. A. Dowben, S. Datta, J. Micromech. Microeng. 1991, 1, 42. E. Feurer, H. Suhr, Thin Solid Films 1988, 157, 81. T. Kudo, A. Yamaguchi, Jpn. Patent JP 62207868, 1987. R. J. Puddephatt, Polyhedron, 1994, 13, 1233. I. K. Igumenov, J. Phys. IV 1995, C5, 489. M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, Chem. Vap. Dep. 1995, 1, 8. Z. Yuan, D. Jiang, S. J. Naftel, T.-K. Sham, R. J. Puddephatt, Chem. Mater. 1994, 6, 2151.
13. J. E. Gozum, D. M. Pollina, J. A. Jensen, G. S. Girolami, J. Am. Chem. Soc. 1988, 110, 2688. R. R. Thomas, J. M. Park, J. Electrochem. Soc. 1989, 136, 1661. Y. G. Kim, S. Bialy, G. T. Stauf, R. W. Miller, J. T. Spencer, P. A. Dowben, S. Datta, J. Micromech. Microeng. 1991, 1, 42. E. Feurer, H. Suhr, Thin Solid Films 1988, 157, 81. T. Kudo, A. Yamaguchi, Jpn. Patent JP 62207868, 1987. R. J. Puddephatt, Polyhedron, 1994, 13, 1233. I. K. Igumenov, J. Phys. IV 1995, C5, 489. M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, Chem. Vap. Dep. 1995, 1, 8. Z. Yuan, D. Jiang, S. J. Naftel, T.-K. Sham, R. J. Puddephatt, Chem. Mater. 1994, 6, 2151.
14. Z. Yuan, R. J. Puddephatt, Adv. Mater. 1994, 6, 51.
15. F. Maury, J. Phys. IV 1995, CS, 449.
16. 7.