Melt-back etching of GaN

Solid-State Electronics

Volumn 41, Issue 2 SPEC. ISS., 1997, Pages 295-298

  Kaneko, Yawara ^a   Yamada, Norihide ^a   Takeuchi, Tetsuya ^a   Yamaoka, Yoshifumi ^a   Amano, Hiroshi ^b   Akasaki, Isamu ^b  

^a HEWLETT PACKARD LABORATORIES   (United States)

^b MEIJO UNIVERSITY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ETCHING; SEMICONDUCTOR GROWTH;

MELT BACK ETCHING;

SEMICONDUCTING GALLIUM COMPOUNDS;

EID: 0031078715     PISSN: 00381101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/s0038-1101(96)00232-8     Document Type: Article

References (19)

1. H. Amano, M. Kito, K. Hiramatsu and I. Akasaki, Jpn. J. Appl. Phys. 28, L2112 (1989).
2. H. Amano, N. Sawaki, I. Akasaki and Y. Toyoda, Appl. Phys. Lett. 48, 353 (1986).
3. S. Nakamura, Jpn. J. Appl. Phys. 30, L1705 (1991).
4. J. I. Pankove, Electrochem. Soc. 119, 1118 (1972).
5. M. E. Lin, Z. F. Fan, Z. Ma, L. H. Allen and H. Morkoc, Appl. Phys. Lett. 64, 887 (1994).
6. I. Adesida, A. T. Ping, C. Youtsey, T. Dow, M. Asif Khan, D. T. Olson and J. N. Kuznia, Appl. Phys. Lett. 65, 889 (1994).
7. S. J. Pearton, C. R. Abernathy and F. Ren, Appl. Phys. Lett. 64, 2294 (1994).
8. R. J. Shul, S. P. Kilcoyne, M. Hagerott Crawford, J. E. Parmeter, C. B. Vartuli, C. R. Abernathy and S. J. Pearton, Appl. Phys. Lett. 66, 1761 (1995).
9. G. F. McLane, L. Casas, S. J. Pearton and C. R. Abernathy, Appl. Phys. Lett. 66, 3328 (1995).
10. S. J. Pearton, C. R. Abernathy, C. B. Vartuli, J. D. Machenzie, R. J. Shul, R. G. Wilson and J. M. Zavada, Electron. Lett. 31, 836 (1995).
11. S. J. Pearton, J. W. Lee, J. D. Mackenzie, C. R. Abernathy and R. J. Shul. Appl. Phys. Lett. 67, 2329 (1995).
12. R. A. Logan and C. D. Thurmond, J. Electrochem. Soc. 119, 1727 (1972).
13. C. D. Thurmond and R. A. Logan, J. Electrochem. Soc. 119, 622 (1972).
14. K. Kishino, S. Kinoshita, S. Konno and T. Tako, Jpn. J. Appl. Phys. 22, L473 (1983).
15. A. Watanabe, T. Yamada, K. Imanaka, H. Horikawa, Y. Kawai and M. Sakuta, Appl. Phys. Lett. 46, 1023 (1985).
16. H. Hahn and R. Juza, Z. Allg. Anorg. Chemie. 244, 111 (1940).
17. H. H. Berger, Solid-St. Electron. 15, 145 (1972).
18. M. E. Lin, Z. Ma, F. Y. Huang, Z. F. Fan, L. H. Allen and H. Morkoc, Appl. Phys. Lett. 64, 1003 (1994).
19. M. S. Brandt, N. M. Johnson, R. J. Molnar, R. Singh and T. D. Maustakas, Appl. Phys. Lett. 64, 2264 (1994).