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Volumn 1, Issue , 1997, Pages 141-144

Torsional force probes optimized for higher order mode suppression

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COMPOSITE MICROMECHANICS; FEEDBACK CONTROL; OPTIMIZATION; SILICON NITRIDE; THERMAL NOISE; TORSIONAL STRESS;

EID: 0030650553     PISSN: None     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: None     Document Type: Conference Paper
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.