메뉴 건너뛰기





Volumn 2, Issue , 1997, Pages 875-878

Bulk micromachined silicon angular rate sensor

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DEGREES OF FREEDOM (MECHANICS); ELECTRODES; MICROMACHINING; NATURAL FREQUENCIES; ROTATION; SEMICONDUCTING SILICON;

EID: 0030648205     PISSN: None     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: None     Document Type: Conference Paper
Times cited : (22)

References (10)
  • Reference 정보가 존재하지 않습니다.

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.